氧氣化學(xué)性質(zhì)比較活潑，具有較強的氧化性，氧氣等離子清洗原理主要是通過(guò)與污染物發(fā)生氧化反應來(lái)清洗物質(zhì)表面，實(shí)現表面狀態(tài)改性。
宇宙中99．9%的物質(zhì)都處于等離子體狀態(tài)，等離子體是宇宙中最常見(jiàn)豐富的可見(jiàn)物質(zhì)形式，包括太陽(yáng)、恒星、電離層、閃電、極光、星際、高溫火焰等。但是在地球上卻很少有天然等離子體存在，因為地球及其附近大氣的低溫度和高密度阻礙了等離子體的存在。但在地球上層的大氣(電離層)中，存在著(zhù)由稀薄大氣因光致電離產(chǎn)生的等離子體。在離地球更遠的地方，等離子體在接近真空的空間被地磁場(chǎng)所俘獲。等離子體從太陽(yáng)流向地球(太陽(yáng)風(fēng))，并充滿(mǎn)星際空間的許多區域，從而形成一種被用以觀(guān)察更外層空間的介質(zhì)。這就意味著(zhù)要獲得和研究等離子體及其性質(zhì)，必須用實(shí)驗裝置的方法來(lái)產(chǎn)生它們。最早是在1927年，當水銀蒸氣在高壓電場(chǎng)中放電時(shí)由科研人員發(fā)現等離子體。后面的發(fā)現是通過(guò)多種形式，例如電弧光、激光、石英燈管日光燈管、能源需求的熱核聚變、等離子處理系統等。等離子體的參數范圍很廣，溫度密度皆跨越了數個(gè)量級。是由部分被電離的原子及原子團(正離子)以及電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，整體正負電荷總數相等宏觀(guān)呈電中性。
氧氣等離子清洗原理：
氧氣等離子清洗機的工作原理是在儀器的真空工作系統中通入少量的氧氣,在高壓電場(chǎng)及高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號的作用下石英管內形成強的電磁場(chǎng),在電磁場(chǎng)作用下氧氣電離形成由活化氧原子、氧離子、氧分子和電子構成的混合物，這些混合物就是具有清洗能力的等離子體輝光柱。受力驅使高速運動(dòng)的活化氧(活潑的原子態(tài)氧)將有機分子轟擊成小分子片段，隨后這些小分子片段迅速地被氧化成水,二氧化碳等可揮發(fā)性氣體并被機械泵抽走,最終達到清洗效果。
等離子清洗技術(shù)的應用始于20世紀初。隨著(zhù)電子等行業(yè)的快速發(fā)展，等離子體清洗技術(shù)的應用范圍逐漸擴大，在許多高科技領(lǐng)域占據著(zhù)關(guān)鍵的技術(shù)地位。目前，等離子體清洗已廣泛應用于半導體和光電子行業(yè)，并逐步應用于光學(xué)工業(yè)、機械工業(yè)、汽車(chē)工業(yè)、航空航天工業(yè)、聚合物工業(yè)、污染防治等諸多技術(shù)領(lǐng)域。近年來(lái)，等離子體清洗技術(shù)已應用于電子元器件制造、LED封裝、IC封裝、多層陶瓷外殼處理、ABS塑料處理、微波管制造、汽車(chē)點(diǎn)火線(xiàn)圈骨架清洗和發(fā)動(dòng)機油封膠處理等領(lǐng)域。24453