對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
型 號
JL-RR12
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~1000W可調
選 配
真空系統
真空腔體
材質(zhì)
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸
360*800*650（寬*高*深(MM))
腔體容積
135L
處理最大尺寸
12英寸
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
質(zhì)量流量計
＜±1% FS
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
5Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動(dòng)控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門(mén)感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀(guān)參數
外形尺寸(MM)
640*1700*840(寬高深）
重 量
280KG
設施配置
電 力
五線(xiàn)線(xiàn)三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設計規范》等國標標準相關(guān)規定
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
質(zhì)保、售后服
務(wù)和技術(shù)支持
質(zhì) 保
一年免費的維保和備件免費更換
技術(shù)支持
接到設備故障通知1個(gè)小時(shí)內提供遠程技術(shù)支持，對遠程無(wú)法定位解決的問(wèn)題，提供現場(chǎng)維修服務(wù)
培 訓
設備正式試用前，提供完整、免費的技術(shù)培訓
