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定制等離子清洗機

LED等離子清洗機

LED的封裝不僅要求能夠保護燈芯，而且還要能夠透光。所以L(fǎng)ED的封裝對封裝材料有特殊的要求。而在微電子封裝的生產(chǎn)過(guò)程中，由于各種指紋、助焊劑、交叉污染、自然氧化、器件和材料會(huì )形成各種表面污染，包括有機物、環(huán)氧樹(shù)脂、光阻劑和焊料、金屬鹽等。這些污漬會(huì )對包裝生產(chǎn)過(guò)程和質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。等離子清洗的使用可以很容易地通過(guò)在污染的分子級生產(chǎn)過(guò)程形成的去除，保證原子和原子之間的緊密接觸工件表面附著(zhù)，從而有效提高粘接強度，改善晶片鍵合質(zhì)量，降低泄漏率，提高包裝性能、產(chǎn)量和組件的可靠性。

  • 功能特點(diǎn)
  • 規格參數
  • 外形尺寸

    • 點(diǎn)銀膠前：基板上的污染物會(huì )導致銀膠呈圓球狀，不利于芯片粘貼，而且容易造成芯片手工刺片時(shí)損傷，使用等離子清洗可以使工件表面粗糙度及親水性大大提高，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼，同時(shí)可大大節省銀膠的使用量，降低成本。

    引線(xiàn)鍵合前：芯片粘貼到基板上后，經(jīng)過(guò)高溫固化，其上存在的污染物可能包含有微顆粒及氧化物等，這些污染物從物理和化學(xué)反應使引線(xiàn)與芯片及基板之間焊接不完全或粘附性差，造成鍵合強度不夠。在引線(xiàn)鍵合前進(jìn)行等離子清洗，會(huì )顯著(zhù)提高其表面活性，從而提高鍵合強度及鍵合引線(xiàn)的拉力均勻性。鍵合刀頭的壓力可以較低%0%2(有污染物時(shí)，鍵合頭要穿透污染物，需要較大的壓力)，有些情況下，鍵合的溫度也可以降低，因而提高產(chǎn)量，降低成本。

    LED封膠前：在LED注環(huán)氧膠過(guò)程中，污染物會(huì )導致氣泡的成泡率偏高，從而導致產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命低下，所以，避免封膠過(guò)程中形成氣泡同樣是人們關(guān)注的問(wèn)題。通過(guò)等離子清洗后，芯片與基板會(huì )更加緊密的和膠體相結合，氣泡的形成將大大減少，同時(shí)也將顯著(zhù)提高散熱率及光的出射率。

    型號

    JL-VM150

    等離子源系統

    頻  率

    13.56MHz  射頻

    40KHz  中頻

    功  率

    0~1000W可調

    0-5000W可調

                 選 配

    真空系統

    真空腔體

    材質(zhì)

    316L不銹鋼、航空鋁（選配）

    腔體內部尺寸（MM）

    500*600*500（寬高深)

    腔體容積

    150L

    極板

    17層，水平式，活動(dòng)可調節

    密封性

    軍工級焊接密封

    泵

    泵組

    油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）

    真空管路

    不銹鋼管、不銹鋼波紋管

    真空計

    1×105~1×10-1Pa

    質(zhì)量流量計

    ＜±1% FS

    氣路控制

    2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調

    極限真空

    5Pa

    適用氣體

    流量范圍

    0-500SCCM（可調）

    工藝氣體

    Ar、N?、O?、H?等等（可選）

    控制系統

    1、PLC 自動(dòng)控制；

    2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；

    3、配方程序為 0~99；

    4、多級權限操作；

    5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息；

    6、存儲工藝數據及錯誤信息；

    7、報警信息提示及追溯；

    8、圖形化界面檢測處理參數；

    9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

    10、維護提示緊急停止按鈕；

    11、門(mén)感應器和真空互鎖；

    12、機器運行信號指示；

    13、機器運行結束提示；

    外觀(guān)參數

    外形尺寸(MM)

    850*1700*1020(寬高深）

    重  量

    700KG

    設施配置

    電  力

    五線(xiàn)線(xiàn)三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設計規范》等國標標準相關(guān)規定

    壓縮空氣

    干燥壓縮空氣CDA

    其  它

    提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.