進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現各項異性刻蝕，保證細小圖形轉移后的保真性。
1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護。
2、引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計，精度高。
4、材質(zhì)耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據客戶(hù)需求定制。
型 號
JL-E05
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~300W 可調
真空系統
真空腔體
材質(zhì)
石英、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸(MM)
D160*260（直徑*深)
腔體容積
5L
極板
無(wú)
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
雙極泵/干泵（選配）
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
氣體流量計
＜±1% FS
氣路控制
2路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
3Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?O?、H?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動(dòng)控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監測工藝參數狀態(tài)及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門(mén)感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀(guān)參數
外形尺寸(MM)
750*450*500(寬高深）
重 量
70KG
設施配置
電 力
三線(xiàn)，單相制AC220V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設計規范》等國標標準相關(guān)規定
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
