等離子清洗機在干洗方面具有明顯的優(yōu)勢。本文主要介紹等離子體清洗機的機理、類(lèi)型、工藝特點(diǎn)及其在微電子封裝工藝中的應用。1.導言微電子工業(yè)中的清潔是一個(gè)非常廣泛的概念，電暈放電處理廢水的方法包括與去除污染物相關(guān)的任何過(guò)程。通常是指在不破壞材料表面特性和電學(xué)特性的前提下，有效去除殘留在材料上的灰塵、金屬離子和有機雜質(zhì)。目前，物理和化學(xué)清洗方法已得到廣泛應用，大致可分為濕法清洗和干洗兩大類(lèi)。濕式清洗目前在微電子清洗工藝中仍占主導地位。

其實(shí)，電暈放電處理廢水的方法人們對等離子體現象并不陌生。自然界中，熾熱的火焰、耀眼的閃電、壯麗的極光，都是等離子體作用的結果。對整個(gè)宇宙來(lái)說(shuō)，差不多99。9%以上的物質(zhì)以等離子體狀態(tài)存在，如常數恒星和星際空間是由等離子體組成的。等離子體可以通過(guò)人工方法產(chǎn)生，如核聚變、核裂變、輝光放電以及各種放電。分子或原子的內部結構主要由電子和原子核組成。

增加了一個(gè)額外的功率層。如果規劃的PCB的功率層為奇數，電暈放電處理廢水的方法信號層為偶數，則可以采用這種方法。一個(gè)簡(jiǎn)單的方法是在堆棧中間添加一個(gè)地層，而不改變其他設置。先按奇數PCB布線(xiàn)，再模仿中間的地層，象征剩余的層數。這與加厚地層中箔涂層的電特性相同。在PCB堆棧的中心附近添加空白信號層。這種方法減少了堆疊的不平衡，提高了PCB的質(zhì)量。先按奇數層布線(xiàn)，再加空白信號層象征其他層。

等離子體清洗是利用離子、電子、受激原子、自由基及其與清洗表面污染物分子的活化反應去除污染物的過(guò)程。電子在清洗金屬表面中的作用；等離子體中的電子與原子或分子碰撞形成受激中性原子或原子團（也稱(chēng)自由基），電暈放電處理的優(yōu)缺點(diǎn)可與污染物分子發(fā)生反應，使污染物離開(kāi)金屬表面。

電暈放電處理廢水的方法

等離子體是一種部分電離的中性氣體，其中自由電子和中性分子原子碰撞，通過(guò)碰撞電離，得到更多的電子和離子?；陔娮拥哪芰?，可以得到更豐富的離子和激發(fā)態(tài)高能中性粒子，由于電子吸附在中性氣體表面，也可以得到負離子。由于每種氣體在原子分子物理中都有自己的能級結構，高能電子可以將氣體激發(fā)到不同的能級。當氣體分子和原子從高能級回移到低能級時(shí)，會(huì )輻射出不同能量的光子，這些光子代表著(zhù)不同的波長(cháng)。。

非磁化熱等離子體中除光波外，還存在電子朗繆爾波和電子朗繆爾波；離子聲波。朗繆爾波與速度相近的電子共振，形成朗道阻尼。磁化熱等離子體中多普勒效應引起的頻率為W=LWCE(L=0,1,2,3,&hellip)的波；）與回旋電子共振，w=lwci(l=0,1,2,&hellip；）會(huì )與回旋離子共振，產(chǎn)生切倫科夫和回旋阻尼。

正因為工業(yè)領(lǐng)域向精細化、精微化方向發(fā)展，等離子體表面改性技術(shù)憑借其精細清潔、無(wú)損改性等優(yōu)勢，將在半導體工作、芯片工業(yè)、航空航天等高科技工作中具有越來(lái)越重要的應用價(jià)值。。等離子體是由無(wú)序運動(dòng)的電子、離子、原子和分子組成的熱氣，構成了恒星的內部，但科學(xué)家可以在實(shí)驗室使用特殊設備人工制造。

不同氣體形成的等離子體可以形成不同的活性基團，如-OH（羥基）或NH2（氨基）。這些活性基團可以集中在材料的表層，使得兩種不同物質(zhì)的結合變得容易，這是傳統表面處理工藝無(wú)法比擬的。借助低溫等離子體技術(shù)，可以簡(jiǎn)單有效地對材料表面層進(jìn)行活化或化學(xué)改性。等離子體處理在許多現代工業(yè)技術(shù)中得到了應用，證明了其在改善材料加工性能方面的優(yōu)勢，如粘接、印刷、涂層等?，F已廣泛應用于許多行業(yè)。

電暈放電處理的優(yōu)缺點(diǎn)