從給人類(lèi)帶來(lái)無(wú)限清潔能源的可控聚變，不同材質(zhì)的附著(zhù)力大小到芯片制造行業(yè)必不可少的彩色熒光燈和刻蝕機……等離子技術(shù)經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展，其神奇的“魔力”更是令人驚嘆。晴天霹靂，但我國仍缺乏等離子行業(yè)的應用。等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不同于固體、液體和氣體。物質(zhì)由分子組成，分子由原子組成，原子由帶正電的原子核及其周?chē)鷰ж撾姷碾娮咏M成。當施加高能量時(shí)，電子離開(kāi)原子核，物質(zhì)變成帶正電的原子核和帶負電的電子等離子體。

2.然后將用于等離子體清洗的氣體引入真空室內，不同材質(zhì)的附著(zhù)力大小保持室內壓力穩定。3.在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓，氣體被擊穿并通過(guò)輝光放電產(chǎn)生等離子體，真空室內產(chǎn)生的等離子體覆蓋處理后的工件，開(kāi)始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續數十秒至數十分鐘，視需要處理的材料不同而定。4.清洗完畢，切斷電源，通過(guò)真空泵抽走氣體和氣化的污物，清洗結束。

等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。

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不同材質(zhì)的附著(zhù)力大小

清洗過(guò)程中，在真空泵控制真空室的真空環(huán)境時(shí)，氣體的流量決定了發(fā)光色度：如果色度較重，說(shuō)明真空度低，氣體流量較大；而偏白時(shí)，則是真空度過(guò)高，氣體流量較??；具體需要根據所需的處理效果，來(lái)確定真空泵要實(shí)現的真空度。

除了氣體分子、離子和電子之外，等離子體還包含被能量激發(fā)態(tài)激發(fā)的帶中性原子或原子團，這些能量激發(fā)態(tài)是自由基和從等離子體發(fā)射的光。等離子體在等離子體與物體表面的相互作用中起著(zhù)重要作用。自由基，例如自由基，與表面反應。離子中的自由基具有很強的電學(xué)性質(zhì)，比離子存在的時(shí)間更長(cháng)。在等離子體中，自由基是高度揮發(fā)性的，它們的功能主要是在化學(xué)反應過(guò)程中激活（化學(xué)）能量轉移。

當電子輸運到表面清洗區域時(shí)，與清洗表面吸附的污染物分子發(fā)生碰撞，會(huì )促使污染物分子發(fā)生分解而產(chǎn)生活性自由基，這會(huì )有利于引發(fā)污染物分子的進(jìn)一步活化反應；而且，質(zhì)量很小的電子比離子運動(dòng)要快得多，因此電子要比離子更早到達物體表面，并使表面帶有負電荷，從而有利于引發(fā)進(jìn)一步活化反應。

在另一些情況下，自由基與物體表面分子結合的同時(shí)，會(huì )釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應推動(dòng)力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應而被去除。

各菌在不同材質(zhì)上的附著(zhù)力