辨別真空等離子清洗機正負電極板的方法一般來(lái)說(shuō)工業(yè)生產(chǎn)中所使用的真空等離子清洗機常常會(huì )使用容性耦合（CapcitvielyCoupledPlasma，CCP）射頻放電來(lái)產(chǎn)生等離子體，其放電結構如圖1-1所示，由兩部分組成：放電腔室和兩塊金屬電極，一塊極板需要牢固的接地，另一塊極板經(jīng)匹配器連接到等離子體源上，這就組成了平行板式容性耦合等離子體，這種結構的原型最早出現在20世紀70年代。當電源接通后,放電腔內的兩平板電極組成的電容結構之間產(chǎn)生高頻電場(chǎng)，電子在電場(chǎng)的作用下被賦能，做快速的往復運動(dòng)，激發(fā)原子放電。由于電子的平均自由程要比放電腔室的尺寸大得多，這些電子會(huì )轟擊在極板上并產(chǎn)生二次電子發(fā)射，從而獲得電子倍增，這些金屬極板上產(chǎn)生的二次發(fā)射電子將穩定地維持這種放電并起主要作用，而由氣體電離所產(chǎn)生的二次發(fā)射電子起次要作用。
圖 1-1 容性耦合等離子體放電裝置我們所看到的真空等離子清洗機一般里面會(huì )有很多對電極板，這是因為多對放電極板不僅提高等離子體的均勾性，還成倍的增加了基片的裝載量，可大大提高產(chǎn)能，尤其適用于實(shí)際生產(chǎn)中，具有廣泛的應用前景。那么怎么分辨電極板的正負呢？下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下，辨別真空等離子清洗機電極板正負的方法。
辨別真空等離子清洗機正負電極板的方法如下：
我們打開(kāi)真空等離子清洗機的反應倉，會(huì )發(fā)現里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤(pán)的作用)。那么哪個(gè)是正極板，哪個(gè)是負極板呢。一般來(lái)說(shuō)在真空等離子清洗機反應倉的后部安裝有兩個(gè)銅電極，其中左邊為負極，右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉體側壁的鋁支撐對應。電極板能夠充當反應電極是建立在其上面的插頭與對應銅電極相連接實(shí)現的，電極條選擇插入左邊或者右邊能夠決定該電極板為正極或者為負極。一般真空等離子清洗機提供的清洗模式為直接等離子體模式。采用正、負電極相間隔放置的模式稱(chēng)為直接等離子體模式，這種模式的配置下所有的正負離子都會(huì )在兩電極板流通而過(guò)且不會(huì )被彼此隔離，屬于較強轟擊性的方式。待清洗的物體可放在正極板上也可放在負極板上。辨別真空等離子清洗機正負電極板的方法00224815