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三、等離子處理的優(yōu)點(diǎn)及作用(1)經(jīng)過(guò)等離子處理以后,寧德等離子清洗機裝置分子泵哪里有賣(mài)被清洗物體已經(jīng)很干燥,不必再經(jīng)干燥處理;(2)不使用有害溶劑,不會(huì )產(chǎn)生有害污染物,屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法;(3)用無(wú)線(xiàn)電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強,可以深入物體的微細孔眼和凹陷內,特別適合用于線(xiàn)路板生產(chǎn)中盲孔以及微小孔的清洗;(4)整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘內即可完成,具有效率高的特點(diǎn);(5)等離子清洗的最大技術(shù)特點(diǎn)是:它不分處理對象,可處理不同的基材;如金屬、半導體、氧化物以及高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物)等都可用等離子處理;(6)在使用等離子清洗時(shí),去污的同時(shí),還能改變材料本身的表面性能,如提高表面的潤濕性能,改善膜的附著(zhù)力等。

等離子體中含有大量光子、電子、離子、自由基、特定原子的激發(fā)態(tài)、原子和特定分子的激發(fā)態(tài)分子等,寧德等離子清洗機服務(wù)商為化學(xué)反應提供高活性的特定粒子,導致許多通常無(wú)法產(chǎn)生或需要極其苛刻條件的化學(xué)反應,變得易于在近室溫下進(jìn)行,為實(shí)現化學(xué)反應提供了新途徑。對于多晶硅化工而言,從能耗控制、效率提升等方面考慮加氫、氣相沉積等工藝,利用等離子體促進(jìn)反應過(guò)程具有重要的實(shí)用價(jià)值和科研價(jià)值。

工作壓強是等離子清洗的重要參數之一,寧德等離子清洗機服務(wù)商壓強的提高意味著(zhù)等離子體密度的增加和粒子,平均能量的降低,對化學(xué)反應為主導的等離子體,密度的增強能顯著(zhù)提高等離子系統的,清洗速度,而物理轟擊主導的等離子清洗系統則效果并不明顯。此外,壓強的改變可能會(huì )引起等離子體清洗反應機理的變化。如硅片刻蝕工藝所采用的CF4/O2等離子體,當壓強較低時(shí)離子轟擊起主導作用,而隨著(zhù)壓強的增加,化學(xué)刻蝕不斷加強并逐漸占據主導作用。

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