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2、氣動(dòng)調壓閥:氣動(dòng)調壓閥是氣動(dòng)控制的重要器件，其作用是將外接的壓縮氣體控制在所需的工作壓力，并保其壓力和流量穩定。無(wú)論是真空等離子清洗機還是大氣等離子清洗機，在氣體輸入時(shí)都會(huì )安裝氣動(dòng)調壓閥，為保證氣體的潔凈度在使用時(shí)可加裝氣體過(guò)濾組件。下圖為調壓閥與過(guò)濾組件在大氣等離子清洗機中的應用。為了方便查看氣體壓力，可在調壓閥上安裝壓力表或選用帶有壓力表的調壓閥。
等離子體清洗蝕刻生產(chǎn)等離子體的機器是將兩個(gè)電極設置在密封的容器中形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定程度的真空，隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子之間的移動(dòng)距離越來(lái)越長(cháng)。在磁場(chǎng)作用下，碰撞形成等離子體，同時(shí)會(huì )產(chǎn)生輝光。等離子機等離子在電磁場(chǎng)空間中運動(dòng)，轟擊被處理物體表面，以達到表面處理、清洗和蝕刻的效果。
等離子體是各種物質(zhì)存在的一種狀態(tài)，是與固體、液體、氣體等物質(zhì)存在形式相同的一種狀態(tài)，有人說(shuō)等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài)。事實(shí)上，太陽(yáng)周?chē)陀钪嬷械拇蠖鄶滴镔|(zhì)都以等離子體的形式存在。在生活中，我們也常見(jiàn)等離子體，最常見(jiàn)的是火焰，火焰可以看作是可燃物質(zhì)釋放能量，刺激空氣等揮發(fā)性氣體分解成等離子體狀態(tài)，是最原始和貫穿的人工等離子體。
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