德國Diener Electronic是等離子體技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng )新公司,是低壓等離子體系統、等離子體高頻發(fā)生器和大氣等離子體生產(chǎn)的國際領(lǐng)先者。他們的技術(shù)成熟和巨大成功保證了持續的全球擴張。
迄今為止,全球已有10000多套Diener等離子系統!
Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、80KHz、13.56MHz,以及代表等離子應用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機。
目前設備廣泛應用于:等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽(yáng)能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的產(chǎn)品,以保證性能技術(shù)穩定。
德國diener等離子清洗機特點(diǎn):
等離子清洗機清洗效果好,效率高,應用范圍廣。
對清洗樣品,沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀(guān)尺寸等要求
等離子清洗過(guò)程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
射頻功率無(wú)極連續可調。
高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
特制電極和托盤(pán)結構,可充分利用真空艙體內部空間,使處理效率化,同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。
特有的過(guò)載、短路和過(guò)熱保護電路,可保證射頻電源的穩定和安全。
設備整體模塊化設計,安裝與維護極為簡(jiǎn)單。
德國diener等離子清洗機系列:
Diener等離子清洗機主要技術(shù)參數:
1.全自動(dòng)PCCE控制系統,可存儲50套程序。
2.根據工藝要求不同,可設定真空泵啟動(dòng)與停止、發(fā)生器的功率、反應腔體壓強、氣體流量與時(shí)間等參數
3.雙路工作氣體,MFC質(zhì)量流量計
4.反應艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門(mén),門(mén)帶有觀(guān)察窗。
5.發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續可調,反射波自動(dòng)調節。
6.電極材質(zhì)為鋁制。
7.真空泵抽氣能力8m3/h
8 配有壓力傳感器,實(shí)時(shí)顯示壓力值
9.電源電壓:?jiǎn)蜗郃C230V 16A
德國Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的國際市場(chǎng)領(lǐng)先者,是一家專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業(yè)。24439