例:O2+e→2O*+e-O*+有機物→CO2+H2O從反應公式中可以看出,金屬表面打砂處理氧等離子體可以通過(guò)化學(xué)反應將非揮發(fā)性有機物轉變?yōu)閾]發(fā)性的H2O和CO2。例:H2+e→2H*+e-H*+非揮發(fā)性金屬氧化物→金屬+H2O從反應公式可以看出,氫等離子體可以通過(guò)化學(xué)反應去除金屬表面的氧化層,清潔金屬表面。物理清洗:以物理反應為主要表面反應的等離子體清洗,也叫濺射蝕刻(SPE)。
考慮到大氣壓等離子體放電過(guò)程獨特,金屬表面處理附近其應用不同于真空環(huán)境下產(chǎn)生的等離子體,我們今天單獨討論大氣壓等離子體。1.介質(zhì)阻擋放電的定義介質(zhì)阻擋放電(DBD)是介質(zhì)材料插入金屬電極之間產(chǎn)生的一種非平衡氣體放電。
等離子體表面處理會(huì )改變材料本身的性能嗎?等離子體表面處理僅對Amy-micron材料表面進(jìn)行處理,氟鋯酸金屬表面處理僅對材料表面進(jìn)行改性,對材料整體性能沒(méi)有影響。。等離子體表面處理是解決玻璃、塑料、金屬、橡膠等材料粘接難問(wèn)題的有效方法。
從機理上看,金屬表面處理附近等離子體清洗一般包括以下過(guò)程:無(wú)機氣體被等離子體激發(fā);氣相物質(zhì)吸附到固體表面;吸附基團與固體表面分子反應形成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子分解成氣相;反應殘留物與表面分離。等離子體處理器清洗技術(shù)的特點(diǎn)是無(wú)論被處理對象的基板類(lèi)型如何,都可以進(jìn)行處理。它可以處理金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧甚至聚四氟乙烯,可以進(jìn)行全面、局部和復雜結構的清洗。
氟鋯酸金屬表面處理
等離子清洗機在生物醫學(xué)PEEK數據中的應用PEEK數據是一種應用廣泛的聚合物數據,由于其突出的生物相容性、尺寸穩定性和皮質(zhì)骨與松質(zhì)骨之間的彈性模量,在醫學(xué)非金屬植入中也被廣泛應用。例如人體骨骼、脊柱植入物、傷口修復、口腔醫學(xué)中的臨時(shí)基牙、正畸應用中的愈合帽和咬合棒等,PEEK數據之所以能廣泛應用于生物醫學(xué)領(lǐng)域,離不開(kāi)等離子清洗機的外觀(guān)處理技術(shù)。
因此,利用等離子體清洗劑對磁存儲器進(jìn)行等離子體刻蝕所面臨的挑戰如下:常規反應等離子體(RIE)面臨金屬蝕刻副產(chǎn)物非揮發(fā)性的問(wèn)題;2.超薄單層材料疊層的結構要求極高的刻蝕選擇性和方向性;③金屬蝕刻常用的鹵素氣體易腐蝕超薄金屬材料層。
在曲率半徑較大的尖端電極附近,局部電場(chǎng)強度超過(guò)氣體的電離場(chǎng)強度,導致氣體電離激發(fā),產(chǎn)生電暈放電。當電暈發(fā)生時(shí),可以看到電極周?chē)泄?,并伴有滋滋作響的聲音。電暈放電可以是一種相對穩定的放電形式,也可以是不均勻電場(chǎng)間隙擊穿過(guò)程中的早期發(fā)展階段。電暈放電的形成機理因針尖電極極性而異,主要是電暈放電過(guò)程中空間電荷的積累和分布不同所致。在直流電壓作用下,負電暈和正電暈都在尖端電極附近積累空間電荷。
2.當等離子體發(fā)生器輝光放電區的等離子體發(fā)生器電流再次增大(10~10安培)時(shí),陰極受到快離子轟擊,在低氣壓下發(fā)射電子,這些電子在電場(chǎng)作用下向陽(yáng)極方向加速。在陰極附近存在電位差較大的陰極電位下降區。等離子體發(fā)生器電極之間的中間部分是電位梯度較小的正柱區,其中介質(zhì)是非平衡等離子體。正柱中的電子和離子以相同的速度向壁面擴散,并在壁面重新結合釋放能量(沒(méi)有氣體對流時(shí)就是這種情況)。
金屬表面處理附近
由于直流電壓下電場(chǎng)方向不變,金屬表面處理附近表面電荷難以消散,大量積累的電荷會(huì )導致復合絕緣子附近電場(chǎng)畸變,導致復合絕緣子放電,甚至沿表面閃絡(luò ),嚴重威脅DCGIL設備的安全(完整)穩定運行。因此,等離子體設備被用來(lái)解決這一問(wèn)題。。
等離子體清洗機/等離子體處理器/等離子體處理設備廣泛應用于等離子體清洗、等離子體刻蝕、隔離膠、等離子體涂層、等離子體灰化、等離子體處理和等離子體表面處理等領(lǐng)域。