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等離子體發(fā)生器設備半導體材料/LED解決方案: 等離子體發(fā)生器設備半導體材料/LED解決方案，基于電子元器件的電漿在半導體材料工業(yè)中的運用，以電子元器件為前提的各類(lèi)部件和布線(xiàn)都非常細致，因此工藝過(guò)程中容易產(chǎn)生塵埃、有機物等環(huán)境污染，較易引起晶片損壞及短路。
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