此外,電暈機硅膠管報價(jià)由于工藝始終由人在潔凈室進(jìn)行,半導體晶圓不可避免地受到各種雜質(zhì)的污染。根據污染物的來(lái)源和性質(zhì),大致可分為顆粒物、有機物、金屬離子和氧化物四大類(lèi)。一:顆粒-顆粒顆粒主要是聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)。在器件的光刻過(guò)程中,此類(lèi)污染物主要通過(guò)范德華吸引吸附在晶片表面,影響器件的幾何圖形和電參數的形成。這類(lèi)污染物的去除方法主要是通過(guò)物理或化學(xué)方法對顆粒進(jìn)行底切,逐漸減小顆粒與晶圓表面的接觸面積,最終去除。
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