然后電鍍包含通孔的圖案化跡線(xiàn)。這種技術(shù)的明顯優(yōu)勢是它只需要一次成像操作。但是，小面積鍍層測附著(zhù)力缺點(diǎn)是巨大的，包括： 1) 總體跡線(xiàn)圖案必須物理連接，以便始終執行電鍍。如果電氣連接中斷，表面將不再電鍍。 2) 這些痕跡會(huì )導致電流密度和分布不均勻，從而影響鍍層厚度的一致性。 3) 與圖案電鍍工藝類(lèi)似，所有走線(xiàn)都是鍍銅的，這會(huì )導致靈活性和阻抗控制問(wèn)題。 4) 細線(xiàn)跡會(huì )限制電流容量并可能導致電鍍問(wèn)題。

在電鍍前，鍍層測附著(zhù)力外殼表面不可避免地形成各種污染物，包括灰塵、固體顆粒、有機物等，同時(shí)由于自然氧化，還存在氧化層。電鍍前必須清洗被鍍件表面，否則會(huì )影響鍍層與基體的結合力，造成鍍層剝落、起泡。為了去除這類(lèi)污染物，采用甲苯、丙酮、酒精等有機溶劑進(jìn)行超聲波清洗。但一方面這種方法不徹底，容易造成涂層缺陷。另一方面增加了制造成本，造成環(huán)境問(wèn)題。

通常采用機械方式，鍍層測附著(zhù)力使孔邊和內孔壁無(wú)倒刺或堵孔的現象產(chǎn)生． 2．除油污 3.粗化處理：主要保證金屬鍍層與基體之間良好的結合強度。 4．活化處理：主要形成“引發(fā)中心”，使銅沉積均勻一致。

如果柵氧化區面積小，小面積鍍層測附著(zhù)力柵區面積大，大面積柵收集的離子會(huì )流向小面積柵氧化區。注入柵極的隧道電流也需要襯底來(lái)保持電荷平衡。隨著(zhù)這種增加，增加的因素是柵極的氧化面積與柵極的比值，損壞效應增加。這是一種稱(chēng)為“天線(xiàn)效應”的現象。對于柵極注入，隧穿電流和離子電流之和等于等離子體中的總電子電流。由于大電流，只要柵氧化層的場(chǎng)強可以產(chǎn)生隧穿電流而不增加天線(xiàn)的實(shí)用性，就會(huì )發(fā)生等離子體損壞。

鍍層測附著(zhù)力

...平帶電壓、漏電流等參數。具有天線(xiàn)器件結構的大面積離子收集區（多晶或金屬）通常位于厚場(chǎng)氧化物上，因此只需考慮隧道電流對薄柵氧化物的影響。收集區的大面積稱(chēng)為天線(xiàn)，帶天線(xiàn)的器件的隧穿電流放大系數等于厚場(chǎng)氧化物收集區面積與氧化層面積之比柵極氧化物。該面積稱(chēng)為天線(xiàn)比。如果柵氧化區面積小，柵區面積大，大面積柵收集的離子會(huì )流向小面積柵氧化區。注入柵極的隧道電流也需要襯底來(lái)保持電荷平衡。

如果柵氧區較小，而柵極面積較大，大面積柵極收集到的離子將流向小面積的柵氧區，為了保持電荷平衡，由襯底注人柵極的隧道電流也需要隨之增加，增加的倍數是柵極與柵氧面積之比，增加了損傷效用，這種現象稱(chēng)為“天線(xiàn)效用”。對于柵注入的情況，隧道電流和離子電流之和等于plasma中總的電子電流。因為電流很大，即使沒(méi)有天線(xiàn)的增加效用，只要柵氧化層中的場(chǎng)強能產(chǎn)生隧道電流，就會(huì )引起plasma損傷。

此外，材料的性質(zhì)不同，其初始表面可以不同，反映的液滴角度數據也不同，一般來(lái)說(shuō)，有機材料由于材料的不同，加工前后差異較大，而無(wú)機材料則通過(guò)等離子體處理去除表面油污和表面粗化，使水滴的數量角保持在較低水平。還需要注意的是，液滴角度測試需要對變量進(jìn)行控制，即統一每個(gè)測試的液滴尺寸，確保測試用水量不發(fā)生顯著(zhù)變化。dyne筆測試法是一種成本低、測量快、操作簡(jiǎn)單的方法。

在蝕刻過(guò)程中，添加CHF3、N2、CH4等氣體以快速形成聚合物并提供側壁保護。這優(yōu)先將氟、氮或碳氫化合物吸附到金屬鋁側壁，進(jìn)一步減少氯原子和鋁側壁。 壁接觸反應以保護側壁，增加氯基氣體對金屬鋁的各向異性蝕刻能力。等離子工業(yè)清洗機研究了這三種不同氣體對蝕刻后金屬鋁側壁形態(tài)的影響。結果表明，N2保護氣體在刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生了過(guò)多的側壁保護，并傾向于形成梯形側壁。

小面積鍍層測附著(zhù)力

當樣品放入反應室時(shí)，小面積鍍層測附著(zhù)力真空泵啟動(dòng)真空泵到一定程度，接通電源產(chǎn)生等離子體，氣體通過(guò)反應室內的等離子體進(jìn)入反應室，樣品與volatile 產(chǎn)生的副產(chǎn)品。它由真空泵提取。真空等離子清洗機中的等離子在宏觀(guān)水平上是電中性的。在正常情況下，等離子體是電中性的，但如果受到任何干擾，等離子體中的部分電荷就會(huì )分離出來(lái)，從而產(chǎn)生電場(chǎng)。

等離子清洗機不放電或放電不穩定，鍍層測附著(zhù)力往往是等離子發(fā)生器阻抗匹配出的情況。當等離子體發(fā)生器發(fā)射能量,如果反應腔和電極的阻抗(以下簡(jiǎn)稱(chēng)負載)不等于傳輸線(xiàn)的特性阻抗,它將反映在傳輸過(guò)程中,通過(guò)加熱和部分能量散失和其他方面,而不是所有的能量都被負載的等離子體吸收的等離子清洗機。這將直接影響等離子體表面處理的效果。