等離子體脈沖技術(shù)于20世紀80年代末被報道，電暈等離子處理設備并用于等離子體物理的基礎研究。研究發(fā)現，等離子體脈沖刻蝕技術(shù)可以解決傳統連續等離子體刻蝕中遇到的許多問(wèn)題，特別是對于含有負電荷等離子體的刻蝕工藝。與傳統的連續等離子刻蝕相比，等離子清洗機等離子脈沖技術(shù)可以獲得高選擇性、高各向異性和輕電荷積累損傷的刻蝕工藝，并且可以提高刻蝕速率，減少聚合物的產(chǎn)生，增加刻蝕均勻性，減少紫外輻射損傷。
符合要求的蝕刻均勻性是芯片成品率的保證。就等離子清洗機蝕刻的各向異性而言，電暈等離子處理設備它直接定義了蝕刻微結構的側壁輪廓。潛在等離子體損傷(PID)對器件的工作性能有很大影響。對于傳統的連續等離子體刻蝕，當器件尺寸減小到14nm節點(diǎn)以下時(shí)，實(shí)現上述刻蝕目標變得越來(lái)越困難。為了應對這些挑戰，等離子體清洗機等離子體脈沖刻蝕技術(shù)得到了發(fā)展，并逐步應用于工業(yè)。
低溫等離子體處理可引起材料表面的刻蝕、交聯(lián)和基團引入，脈沖電暈等離子體處理技術(shù)進(jìn)而顯著(zhù)改變材料的表面特性，如親水性、疏水性、沿表面閃絡(luò )電壓、表面電荷耗散、空間電荷積累等。變頻電機匝間絕緣間局部放電也是發(fā)生在氣隙內材料表面的一種氣體放電，其工作電壓為方波脈沖電壓。當脈沖極性反轉時(shí)，由于材料表面電荷的色散特性，氣隙中的放電強度會(huì )加劇。因此，可以使用低溫等離子體表面處理只是改變材料的表面而不影響其內部基底結構的優(yōu)越特性。
低溫等離子表面處理設備代替底漆，電暈等離子處理設備從而降低生產(chǎn)成本等離子體表面處理技術(shù)可以快速徹底地消除物體表面的污染物，可以增加這些材料的粘度，親水性、焊接強度、疏水性和電離過(guò)程都可以容易控制和安全重復。是提高產(chǎn)品可靠性的理想表面處理技術(shù)。通過(guò)等離子體設備的表面活化、蝕刻和表面沉積，等離子體技術(shù)可以提高大多數物質(zhì)的性能：清潔度、親水性、拒水性、附著(zhù)力、標記性、潤滑性和耐磨性。
電暈等離子處理設備
由于等離子體中原子的電離、復合、刺激和遷移，會(huì )產(chǎn)生紫外線(xiàn)，光子能量也在2～4eV范圍內。顯然，在等離子體設備中，粒子和光子所給予的能量是很高的。。很多接觸過(guò)等離子設備的人都知道，我們的等離子設備只是行業(yè)的總稱(chēng)，它可以分為常壓等離子設備、真空等離子設備、卷對卷等離子設備等多種類(lèi)型。
等離子體發(fā)生器考慮到材料表面層的硬度、蝕刻和粗糙度不同，結合效果不同，所以結合材料的剪切強度值不同。。等離子體發(fā)生器設備用半導體材料/LED解決方案；等離子體發(fā)生器設備的半導體材料/LED解決方案，基于電子元器件的等離子體在半導體材料行業(yè)的應用，以及基于電子元器件的各類(lèi)元器件和布線(xiàn)都非常細致，因此過(guò)程中容易產(chǎn)生粉塵、有機物等環(huán)境污染，容易造成晶圓損壞和短路。
隨著(zhù)原材料和技術(shù)水平的發(fā)展，地埋式通孔結構的促進(jìn)作用會(huì )越來(lái)越小，越來(lái)越精細化；通孔電鍍時(shí)采用傳統的化學(xué)去除膠渣方法會(huì )越來(lái)越困難，而真空等離子設備的清洗方法可以很好的克服濕膠除渣的缺點(diǎn)，對于通孔或微孔可以促進(jìn)更好的清洗輔助，保證通孔鍍孔時(shí)有更好的驅動(dòng)效果。。
4.其他如等離子刻蝕、活化和涂層鑒于等離子清洗機加工的基本功能和主要用途有這么多的途徑，所以電子光學(xué)、光電材料、光通信、電子器件、電子光學(xué)、半導體材料、激光器、加工芯片、珠寶首飾、顯示信息、航空工程、生物科學(xué)、醫學(xué)、口腔醫學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)、有機化學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域的科技創(chuàng )新和制造。。由于等離子體清洗技術(shù)是為了實(shí)現材料表面的活化和刻蝕，處理后的材料表面親水性、粘附性和附著(zhù)力將得到大幅提升。
電暈等離子處理設備
丙烷為飽和烷烴，電暈等離子處理設備直接利用子午線(xiàn)價(jià)值低；但丙烯缺口較大，因此有必要研究丙烷烯烴化。中國擁有豐富的天然氣和化石能源。隨著(zhù)天然氣、油田天然氣和煉廠(chǎng)天然氣的不斷綜合利用，丙烷在天然氣、油田天然氣和煉廠(chǎng)天然氣中的含量迅速增加。因此，丙烷技術(shù)的發(fā)展對于合理利用丙烷、開(kāi)辟丙烯新來(lái)源具有重要意義。目前丙烷脫氫主要有三種途徑：丙烷高溫蒸汽裂解、丙烷催化脫拉頓和丙烷氧化脫氫。
