Ar+e－→Ar++2e－，噴漆和噴塑附著(zhù)力0級Ar++沾污→揮發(fā)性沾污氬氣等離子清洗原理在非反應氣體中，氬氣和氦氣是常用的清洗氣體，其具有優(yōu)良的物理性質(zhì)，如擊穿電壓低并且等離子與其他氣體相比相當穩定，氬原子的電離能為15.75eV，氬等離子中含有大量的亞穩態(tài)的氬原子，在物理反應清洗中很具優(yōu)勢。在清洗過(guò)程中還可以充入兩種或以上的混合氣體以得到更好的清洗效果。

AMAT的臺面甚至日立的8190XT通過(guò)同步脈沖實(shí)現了低電子衰落。同步脈沖是指源功率和底電極偏置功率的同步開(kāi)關(guān)。關(guān)閉時(shí)，噴漆和噴粉哪個(gè)附著(zhù)力更好等離子體清潔器等離子體中的電子大大減少，等離子體由電子-離子型轉變?yōu)殡x子-離子型。同時(shí)，由于底部電極表面鞘層的消失，使得更好地控制等離子體中的正負分離成為可能。RLSA通過(guò)空間擴散實(shí)現離子-離子等離子體，MESA/8190XT通過(guò)時(shí)間（等離子體切換）實(shí)現離子-離子等離子體。

離子化學(xué)清洗速度快，噴漆和噴塑附著(zhù)力0級選擇性好，對有機污染物有良好的清洗效果。等離子體表面活化機表面反應以物理作用為主，常用氬氣，不產(chǎn)生氧化副產(chǎn)物，腐蝕各向異性。在等離子表面活化機的表面改性過(guò)程中，化學(xué)反應與物理作用相結合，使其具有更好的選擇性、一致性和方向性。 由于工業(yè)領(lǐng)域精密化、微小化的發(fā)展方向，等離子表面活化機技術(shù)以其精細清潔、無(wú)損改性的優(yōu)勢在半導體行業(yè)、芯片產(chǎn)業(yè)、航空航天等高新技術(shù)行業(yè)也會(huì )有越來(lái)越重要的應用價(jià)值。

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1.氣瓶減壓閥 氣瓶減壓閥 是將氣瓶中的高壓氣體減壓為低壓氣體的裝置。等離子清洗機中使用的大部分工藝氣體是瓶裝氣體。為保證各氣路部件的工藝穩定性和工作穩定性，高壓氣體通常采用氣瓶減壓器。 2、氣動(dòng)調節閥 氣壓調節閥是空氣壓力控制的重要裝置，具有將外部壓縮氣體控制在所需工作壓力和穩定壓力和流量的作用。

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因此等離子體發(fā)生器的殺菌效果遠高于負離子發(fā)生器。2,等離子發(fā)生器產(chǎn)生大量的負離子和積極的離子在同一時(shí)間,因為負離子的數量遠遠大于積極的離子的數量,所以積極的離子將由負離子中和后生成,因此不能大量的空氣中正離子。正離子和負離子本身是空氣組件的一部分,所以適量的正離子對人體沒(méi)有副作用,所以等離子發(fā)生器的空氣凈化殺菌同時(shí)允許在人類(lèi)空間,不用于人體。

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