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通常使用的真空泵是旋轉油泵，珠海生產(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠(chǎng)商高頻電源通常用13.56M赫茲的無(wú)線(xiàn)電波，設備的運行過(guò)程如下：（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動(dòng)運行裝置，開(kāi)始排氣，使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在 Pa。 根據清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
可以提高整個(gè)工藝線(xiàn)的加工效率； 2.等離子清洗避免了對人體有害的溶劑，珠海生產(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠(chǎng)商避免了濕法清洗容易清洗物體的問(wèn)題； 3.避免使用 該清洗方法是一種環(huán)保的綠色清洗方法，因為它使用三氯乙烷和其他 ODS 有害溶劑，清洗后不會(huì )產(chǎn)生有害污染物。隨著(zhù)世界對環(huán)境保護的極大興趣，這一點(diǎn)變得越來(lái)越重要。第四，無(wú)線(xiàn)電范圍內的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。
蒸發(fā)器配備了電子槍?zhuān)楹Ｉa(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠(chǎng)商通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對電子束進(jìn)行加速聚集，使其集中于汽化物質(zhì)的局部位置，形成加熱束斑。光束斑點(diǎn)溫度達到3000~6000℃，能量密度達到20kW/cm2。 在非金屬涂層中，汽化原料的高氣化溫度和汽化會(huì )導致汽化過(guò)程中汽化區域的高溫，大量的輻射熱使基材吸收過(guò)多的熱能，提高溫度；同時(shí)，氣化分子、離子等顆粒在基材表面凝結成膜時(shí)釋放的熱量導致基材溫度過(guò)高，熱變形嚴重。
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污染物質(zhì)的出現，如氧化物質(zhì)、有機化學(xué)雜質(zhì)等都是會(huì )明顯削減引線(xiàn)鍵合的抗拉強度值。傳統式的濕式清潔對鍵合區的污染物質(zhì)清除不充分或是無(wú)法清除，而運用低溫低溫等離子處理機能有效的清除鍵合區的表層臟污并使其表層活化，能大幅度提高引線(xiàn)的引線(xiàn)鍵合抗拉強度，提升封裝元件的可靠系數。
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