主權利要求:1.一種帶有超高頻電源的小型等離子發(fā)生器,涂層附著(zhù)力拉拔試驗裝置包括處理管(2),處理管(2)內設有對空氣進(jìn)行凈化的低溫等離子凈化裝置,低溫等離子凈化裝置包括呈方形設置的框架(4),所述框架(4)內互相平行設有若干電極(42),所述電極(42)與超高頻電源相連,所述電極(42)外套設有石英管(421),所述電極(42)包括正電極以及負電極,其特征在于:所述正電極與負電極間隔設置,負電極設置在相鄰兩正電極連線(xiàn)的側面,所述正電極固定在框架(4)的頂部,所述負電極固定在框架(4)的底部,所述框架(4)上沿石英管(421)的長(cháng)度方向設有抵接桿(6)以及驅動(dòng)抵接桿(6)始終與石英管(421)的端面抵接的第一彈性件,所述抵接桿(6)上設有動(dòng)觸點(diǎn)(61),所述框架(4)上與動(dòng)觸點(diǎn)(61)對應設有靜觸點(diǎn)(43),所述動(dòng)觸點(diǎn)(61)以及靜觸點(diǎn)(43)連接有報警電路。
整個(gè)清洗過(guò)程可以在幾分鐘內完成,所以它有高收益的特點(diǎn),易于使用的數控技術(shù),自動(dòng)化程度高,高精度控制裝置,高精度時(shí)間控制;正確的等離子體清洗不會(huì )產(chǎn)生表面損傷層,表面質(zhì)量得到保證。由于是在真空中進(jìn)行,涂層附著(zhù)力拉拔試驗裝置不污染環(huán)境,保證清洗表面不受二次污染。等離子體工藝是一種干法工藝,與濕法工藝相比,它有許多優(yōu)點(diǎn),這是由等離子體本身的特性決定的。
在大氣壓脈沖等離子體表面處理裝置的電暈條件下,涂層附著(zhù)力拉拔試驗裝置C2H6的轉化率和C2H2的收率隨著(zhù)增加而增加。能量密度的增加略微增加了C2H4的產(chǎn)率,但CH4的產(chǎn)率并沒(méi)有隨著(zhù)等離子體能量密度的增加而變化很大。當等離子體能量密度為860KJ/MOL時(shí),C2H6的轉化率為23.2%,C2H4和C2H2的總收率為11.6%。
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涂層附著(zhù)力拉拔試驗
非平衡等離子體中電子的能量分布與重粒子不同,兩者處于不平衡狀態(tài),因此含電子氣體的溫度為中性粒子和含離子氣體的溫度。通過(guò)這種方式,可以誘導高能電子通過(guò)碰撞激發(fā)氣體分子,或者使氣體分子解離和電離。上述過(guò)程產(chǎn)生的自由基可以分解污染物分子。等離子體的化學(xué)作用可以實(shí)現物質(zhì)的化學(xué)轉化。與僅依靠等離子體的熱效應的分子分解相比,等離子體的化學(xué)作用被用來(lái)實(shí)現更有效的物質(zhì)轉化。
在確定等離子刻蝕機的放電空間時(shí),當放電電流均勻時(shí),在放電電流峰值附近可以拍攝到10ns的放電圖像,發(fā)現放電中沒(méi)有明暗放電燈絲,說(shuō)明放電在空間上是均勻的,所以這種在大氣壓氦氣中容易得到的放電是均勻放電;同時(shí),在瞬時(shí)陰極附近可以看到高亮度的發(fā)光層,這是輝光放電的典型特征。由此可以斷定,大氣壓氦放電屬于輝光放電。
氣體被電離,電離氣體中含有大量的電子、離子和一些中性粒子(原子和分子),其間電子和離子的電荷大致相同,宏觀(guān)上看是電中性的?;蚪y一的感覺(jué)。以水為例。當溫度低于0°C時(shí),水看起來(lái)就像是“冰”的固體。當溫度在0°C和 °C之間時(shí),水是液體,或“水”。 ”;當溫度超過(guò) ℃時(shí),水變成氣態(tài),或稱(chēng)“水蒸氣”。
由于物體表面的撞擊,吸附在物體表面的氣體分子會(huì )被分解和吸附,大量的電子碰撞有利于化學(xué)反應。因為電子的質(zhì)量很小,所以它們比離子跑得快。在低溫等離子體過(guò)程中,電子比離子早到達物體表面,表面帶負電荷,這有利于引發(fā)進(jìn)一步的反應。。等離子體作為物質(zhì)(除固體、液體和氣體外)的第四種狀態(tài),是由氣體部分或完全電離而產(chǎn)生的非凝聚系統,一般含有自由電子、離子、自由基、中性粒子等。
涂層附著(zhù)力拉拔試驗裝置