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腔體的運行受到很多限制,比如處理過(guò)程中等離子體的種類(lèi)和反應速度,處理效率中電能轉化為等離子體密度的方式,以及處理過(guò)程中一些原材料的消耗等。在等離子發(fā)生器輔助制造業(yè)。

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