在線(xiàn)真空等離子清洗機是在現有成熟的等離子體清洗工藝技術(shù)和設備制造基礎，增加設備自動(dòng)化功能，結合目前研制的常規等離子清洗設備，制造出的適用于大規模生產(chǎn)的集成電路在線(xiàn)式等離子清洗設備。系統采用全自動(dòng)運行方式，可與上下游生產(chǎn)工序連線(xiàn)，滿(mǎn)足器件封裝行業(yè)大規模生產(chǎn)要求，徹底去除表面有機污染物氧化物等的微殘留顆粒和有機薄膜，大幅度改善表面性質(zhì)，提高后續工序中如焊接、封裝、粘結的可靠性，從而保證電子產(chǎn)品在惡劣環(huán)境狀況下的高精度和高可靠性。
在線(xiàn)真空等離子清洗機工作原理如下：
在線(xiàn)真空等離子清洗機結構如圖所示，總體分為四個(gè)部分：設備主體、上下料系統、物料傳輸系統和等離子清洗系統。
在線(xiàn)真空等離子清洗機結構示意圖在線(xiàn)真空等離子清洗機工作原理：上下料系統實(shí)現料盒的自動(dòng)存取功能，物料傳輸系統則將單個(gè)物料從料盒中取出，以四張為一批送入等離子腔體，隨后等離子清洗系統完成四張物料的清洗工作，再由物料傳輸系統將清洗后的物料送回料盒中，并重復以上流程直到料盒中所有物料清洗完畢。設備主體則為以上三個(gè)系統提供結構安裝平臺，同時(shí)承載相應的電氣控制元件。
在線(xiàn)真空等離子清洗機系統中各個(gè)機構說(shuō)明如下：
1)上料臺：主體為鋁制板材，用來(lái)放置未清洗物料料盒，通過(guò)電機帶動(dòng)皮帶將料盒移動(dòng)到料盒夾中。
2)下料臺：同樣采用鋁板搭構，用來(lái)放置清洗后物料料盒，通過(guò)電機帶動(dòng)皮帶將料盒從料盒夾中取出。
3)過(guò)度橋：鋁型材為支撐柱，在鋁板上安裝陶瓷軌道，軌道數量可根據客戶(hù)需求調整，物料通過(guò)此橋往返于料盒與里外托盤(pán)之間。
4)料盒夾：主體為無(wú)桿氣缸，通過(guò)氣缸伸縮動(dòng)作實(shí)現夾緊及釋放料盒功能。
5)料盒垂直移動(dòng)機構：由電機及絲杠組成，被料盒夾夾住的料盒通過(guò)此機構實(shí)現垂直與地面的豎直方向運動(dòng)，使料盒中每層物料都可被推桿機構推出。
6)料盒：生產(chǎn)線(xiàn)中物料（引線(xiàn)框架或PCB板）承載籃具，料盒豎直方向分為十六到四十層，每層水平放置一張料片。
7)推桿機構：由電機、絲杠及推桿組成，當料盒中料片與過(guò)度橋上軌道對齊后，推桿通過(guò)沿水平方向左右往返運動(dòng)將料片推到過(guò)度橋軌道上。
8)料盒水平移動(dòng)機構：由電機及絲杠組成，被料盒夾夾住的料盒通過(guò)此機構實(shí)現垂直與推桿運動(dòng)方向的前后運動(dòng)，使料盒中物料水平分布到過(guò)度橋的軌道上。
上述八個(gè)部件實(shí)現了系統中料盒上下搬運以及料盒中物料取放的全自動(dòng)工藝。24390