產(chǎn)生射頻場(chǎng)的方法有很多，CCP清洗機器射頻場(chǎng)能量耦合效率和等離子體均勻性高度依賴(lài)于射頻激勵電極、線(xiàn)圈或天線(xiàn)的設計。工業(yè)中使用的兩種典型的射頻等離子體發(fā)生器是圖（A）所示的電容耦合等離子體（capacitively Coupled plasma，CCP）發(fā)生器和電感耦合等離子體（Inductively Coupled Plasma，ICP）發(fā)生器或轉耦合等離子體（TRANSFORMER）。
日食在雕刻機開(kāi)發(fā)初期，CCP清洗我們戰略性地專(zhuān)注于相對容易蝕刻的多晶硅材料，使泛林半導體能夠快速開(kāi)發(fā)出高品質(zhì)、穩定、高市場(chǎng)的等離子清洗機ICP機。為后續 CCP 機器的開(kāi)發(fā)爭取時(shí)間。 20世紀初，泛林半導體蝕刻機市場(chǎng)占有率位居前三。另一個(gè)與等離子清洗機等離子刻蝕相關(guān)的硅谷英雄，出生于中國南京，早年畢業(yè)于中國臺灣中原大學(xué)化學(xué)工程系，并獲得了DAVID WANG的冶金碩士學(xué)位。我是醫生。
目前開(kāi)發(fā)的等離子清洗機CCP蝕刻機具有超高頻和低頻混合高頻去耦反應等離子體源，CCP清洗機器獨特的多反應室雙反應臺系統，28NM邏輯低介電材料，用于蝕刻。和記憶介電材料。我們取得了突破，并已投放市場(chǎng)。 2015年初，SEMI要求美國政府修改半導體器件出口管制清單，取得突破性成果。認識到中國各向異性等離子蝕刻設備的存在，美國國家安全出口在過(guò)去20年已經(jīng)撤銷(xiāo)控制（專(zhuān)業(yè)光伏媒體/世紀新能源網(wǎng)）。
這也離不開(kāi)中國微半導體在市場(chǎng)上推出的等離子清洗機CCP機，CCP清洗儀以及北方微電子在Logic 28NM硅刻蝕方面的歷史性突破。。卓越的結果 卓越的結果-等離子-等離子技術(shù)給美國汽車(chē)行業(yè)留下深刻印象 智能和輕量化設計解決方案對于汽車(chē)行業(yè)非常重要，以符合日益嚴格的環(huán)境法規。對德國塑料復合材料專(zhuān)家的邀請很受歡迎。
CCP清洗儀
在薄膜生長(cháng)的早期階段，銅薄膜以島狀生長(cháng)方式沉積在基板表面，因為銅原子的聚集顆粒的尺寸受限于較低的沉積溫度作為銅顆粒的數量.板面增加，它們相互連接，最終形成連續的銅膜。。原材料短缺，PCB行業(yè)又要了！原材料短缺，PCB行業(yè)又要了！ 01 上游短缺 PCB制造的基礎材料是CCL（COPPERCLADLAMINATE覆銅板），上游主要是銅箔、玻璃纖維布、環(huán)氧樹(shù)脂等原材料。
產(chǎn)生的影響：A.電容在特定頻率下會(huì )引起諧振效應，由此產(chǎn)生的網(wǎng)絡(luò )阻抗對相鄰頻段的信號有顯著(zhù)影響。 B.等效電阻 (ESR) 也會(huì )影響由高阻抗形成的低阻抗路徑。速度噪聲去耦。以下是對數字設計師的影響的總結。 A. 來(lái)自器件 VCC 和 GND 引腳的引線(xiàn)應視為小電感。因此，設計建議 VCC 和 GND 引線(xiàn)盡可能短且粗。 B.選擇具有低 ESR 效應的電容器，這將有助于改善電源去耦。 C。選擇下一個(gè)小封裝電容。
近十年來(lái)，從文獻分析來(lái)看，此類(lèi)裝置的結構大多采用了在惰性氣體（或主要是惰性氣體與一些活性氣體混合）的氣流路徑上形成 DBD?？梢钥闯?，它在做。 2005 年，CHKE 等人。和 KEDZIERSKI 等人。發(fā)表了兩篇論文，展示了用 ICCD（如增強型電荷位移傳感器）拍攝的氦大氣壓等離子體射流照片，并發(fā)現了“等離子子彈”（plasma bulle）現象。
鑒于這種作用機制，在功能化聚合物或彈性體的生產(chǎn)過(guò)程中將銀顆粒添加到散裝材料中并不是一種有效的制備方法。鑒于這種情況，表面改性似乎更具開(kāi)創(chuàng )性，尤其是基于大氣壓等離子涂層的低成本改性方法。除了火焰熱分解工藝 [燃燒化學(xué)氣相沉積 (CCVD)] 之外，隨著(zhù)新的大氣等離子體化學(xué)氣相沉積 (APCVD) 工藝的發(fā)展，該領(lǐng)域已經(jīng)取得了很大進(jìn)展。
CCP清洗機器
將 AGNPS 的優(yōu)勢與經(jīng)濟實(shí)用的方法相結合以生產(chǎn)薄 SIOX 層是一種可行且有前途的工藝?？疾霢PCVD與CCVD技術(shù)相結合以及噴涂硝酸銀溶液是否適用于抗菌含銀薄膜的生產(chǎn)。問(wèn)題的核心是硝酸銀是分解成金屬銀還是離子銀，CCP清洗機器以及是否可以在生產(chǎn)過(guò)程中制造 AGNPS。制備更穩定的夾雜物也很重要一種銀懸浮液，含有非聚集顆粒作為薄膜制備過(guò)程中的添加劑。
