20世紀90年代初加盟應用材料公司負責等離子清洗機等離子體蝕刻部門(mén)研發(fā)工作。他開(kāi)發(fā)或參與開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品在等離子蝕刻領(lǐng)域約占50%。在兩大蝕刻設備生產(chǎn)商成功的獨特經(jīng)歷使他對于不同技術(shù)節點(diǎn)相應的蝕刻機臺的更新?lián)Q代如數家珍。2004年辭去應用材料公司副總裁一職回國,上海真空等離子在上海創(chuàng )辦了中微半導體設備有限公司。
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目前,上海真空等離子國內很多單位都在積極開(kāi)展低溫等離子表面改性和生物醫用材料表面膜合成研究,利用等離子表面改性技術(shù)解決抗凝血、生物相容性、表面增加等問(wèn)題。親水性、抗礦化、細胞等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題。生長(cháng)和吸附抑制。等離子噴涂技術(shù)在中國科學(xué)院上海陶瓷研究所的應用。 ZrO2等涂層材料表面生長(cháng)改善人工骨的研究取得重大進(jìn)展。。
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由于所涉及的氣體大部分是“高濃度”致密層,難以將大的激發(fā)能連續傳遞給反應體系,而有些化學(xué)反應需要非常大的活化能,在常規技術(shù)條件下反應難以實(shí)現。。冷等離子體及其應用介紹 冷等離子體技術(shù) 等離子體通常被定義為一種部分電離的氣體,由激發(fā)的原子和分子、正離子和負離子、自由基、電子、光子等組成。它作為一個(gè)整體表現出電中性。等離子體一般分為平衡等離子體和非平衡等離子體。
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這些活性基團相互碰撞。一系列復雜的物理化學(xué)反應。從等離子體中活性基團的組成可以看出,上海真空等離子表面處理機廠(chǎng)家哪家好等離子體內部富含電子、離子、自由基、激發(fā)分子等化學(xué)活性極高的粒子。廢氣中的污染物以高能與這些活性基團反應,最終轉化為CO2和H2O等物質(zhì),達到凈化廢氣的目的。等離子廢氣處理技術(shù)特點(diǎn)低溫等離子廢氣處理技術(shù)應用于惡臭氣體處理,處理效果好,運行成本低,無(wú)二次污染,運行穩定,操作管理方便,即用即用等優(yōu)點(diǎn)。