它的機理是:在低壓下,上海高附著(zhù)力樹(shù)脂廠(chǎng)家電話(huà)由ICP射頻電源向環(huán)狀耦合電磁線(xiàn)圈輸出,通過(guò)耦合電弧放電,混合刻蝕汽體通過(guò)耦合電弧放電,產(chǎn)生致密的等離子體,在下電極RF作用下,在基片表面躍遷,基片圖形區域內的半導體器件的離子鍵被打斷,與刻蝕汽體產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì),將汽體從基片中分離出來(lái),抽離真空管。同樣條件下,氧氣等離子體清理比氮氣等離子體清理效果更好。

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真空離子吸塵器是將兩個(gè)電極真空形成電磁場(chǎng),高附著(zhù)力玻璃鋼油漆用真空泵實(shí)現的真空度,氣體越來(lái)越薄,分子之間的距離和自由流動(dòng)的分子之間的距離或郭也越來(lái)越長(cháng),磁場(chǎng)效應,碰撞和等離子體形成,發(fā)光會(huì )發(fā)生同時(shí),等離子體空間電磁場(chǎng)中的運動(dòng),和轟擊處理過(guò)的表面,去除表面油和表面氧化物,灰化表面有機物等化學(xué)物質(zhì),實(shí)現表面處理,清洗和蝕刻,選擇性表面改性通過(guò)等離子體處理過(guò)程。工作過(guò)程:真空等離子吸塵器由反應室、電源和真空泵組組成。

現在國內的等離子清洗機技術(shù)近年來(lái)已經(jīng)越來(lái)越成熟,高附著(zhù)力玻璃鋼油漆這也為進(jìn)一步研究開(kāi)發(fā)新的應用提供了足夠的空間,如隨著(zhù)國內對等離子清洗機的需求越來(lái)越多,普通的等離子清洗機已經(jīng)無(wú)法滿(mǎn)足生產(chǎn)的需要,所以在參考國外等離子清洗機設備并結合現代流水線(xiàn)的需要后,所以出現了在線(xiàn)等離子清洗機。在線(xiàn)等離子清洗機實(shí)際上是由多臺獨立的等離子清洗機組成,形成自動(dòng)化的運行方式,配合流水線(xiàn)的使用,可以進(jìn)行上下游生產(chǎn)流程。

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1、環(huán)保技術(shù):等離子作用工藝為氣固相干反應,消耗水資源,不需添加化學(xué)品 2、效率高:整個(gè)過(guò)程可在短時(shí)間內完成 3、成本低:裝置簡(jiǎn)單,操作維護方便,少量氣體代替昂貴的清洗液(等離子表面處理),無(wú)廢液處理費用 4. 更精細的處理:滲透到細孔和凹痕中,即可完成清洗工作。 5、適用性廣:等離子表面處理技術(shù)可以處理大多數固體。

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