等離子清洗機的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn) 濕法清洗和干法清洗是目前使用最廣泛的清洗方法。濕洗的局限性是巨大的,干法刻蝕設備原理考慮到環(huán)境影響、原材料消耗和未來(lái)發(fā)展,干洗遠遠優(yōu)于濕洗。其中,發(fā)展最快、優(yōu)勢明顯的是等離子清洗(點(diǎn)擊查看詳情)。等離子體是指電離氣體。粒子的集合體,如電子、離子、原子、分子和自由基。
與傳統的濕法清洗技術(shù)相比,干法刻蝕工藝工程師累嗎等離子清洗技術(shù)實(shí)現了干法技術(shù),不消耗水和化學(xué)試劑,節約能源,無(wú)污染(b)具備在線(xiàn)生產(chǎn)能力,全自動(dòng)化實(shí)現高效率、短處理時(shí)間和廢物處理.成本低 (c) 不論被加工基材的種類(lèi)均可加工,可加工形狀復雜的原材料,原材料的表面處理均勻性好。 (D)原料表層的功能只是納米級處理,在保持原料處理原有特殊效果的同時(shí),可以賦予另一種新的功能。 (E)處置溫度低,原料表層無(wú)損傷。
由于低壓等離子體是低溫等離子體,干法刻蝕設備原理當壓力約為133~13.3 Pa時(shí),電子溫度達到10000開(kāi)爾文,而氣體溫度僅為300開(kāi)爾文,不燃燒基板,能量充足。用于表面處理。低壓等離子發(fā)生器越來(lái)越多地用于表面處理工藝,例如等離子聚合、薄膜制備、蝕刻和清洗。 & EMSP; & EMSP; 成功案例:半導體制造工藝、使用氟利昂等離子干法蝕刻、使用離子鍍在金屬表面形成氮化鈦薄膜等。
等離子等離子清洗機保證表面質(zhì)量而不損壞表面。真空清潔不會(huì )對環(huán)境造成二次污染,干法刻蝕設備原理防止被清潔表面變成二次污染。等離子清洗工藝是干法工藝,與濕法工藝相比有很多優(yōu)點(diǎn),這是由等離子本身的性質(zhì)決定的。完全電中性的等離子體是通過(guò)高壓電離產(chǎn)生的,具有很高的活性,并不斷與材料表面的原子發(fā)生反應,使表面的材料不斷被氣態(tài)材料激發(fā)而揮發(fā),達到其目的.打掃。
干法刻蝕設備原理
1、接觸角測量?jì)x是目前業(yè)界最普遍、最被認可的用于評估等離子清洗效果的檢測方法。測試數據準確、操作簡(jiǎn)便、重現性高、穩定性好。其原理是在固體樣品表面滴定一定量的液滴,通過(guò)光學(xué)外觀(guān)輪廓的方法量化液滴在固體表面的接觸角。接觸角越小,清潔效果越高。許多等離子清洗的實(shí)際評估最初都是使用簡(jiǎn)單的注射器滴水的簡(jiǎn)單評估方法,但這種方法只有在效果明顯時(shí)才能觀(guān)察到。 2. Dynepen是企業(yè)中廣泛使用的檢測方法,操作非常簡(jiǎn)單。
研究表明,當超聲波作用于液體時(shí),液體中的每個(gè)氣泡都會(huì )破裂,產(chǎn)生能量非常高的沖擊波,相當于瞬間產(chǎn)生數百度的高溫高壓。超聲波清洗的效果是利用液體中的氣泡破裂產(chǎn)生的沖擊波,達到對工件內外表面進(jìn)行清洗和拋光的效果。等離子清洗裝置:等離子清洗的原理不同于超聲波,在機艙接近真空狀態(tài)時(shí)開(kāi)啟高頻電源。
..由于空氣污染和酸化,生態(tài)環(huán)境遭到破壞,大規模災害頻發(fā),人類(lèi)損失慘重。因此,選擇經(jīng)濟可行的解決方案勢在必行。傳統的吸附、吸附、冷凝、燃燒等分解揮發(fā)性有機污染物(VOCs)的處理方法等低溫等離子技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面具有顯著(zhù)優(yōu)勢。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下產(chǎn)生高能電子。當電子的平均能量超過(guò)目標物質(zhì)分子的化學(xué)鍵能時(shí),分子鍵斷裂,達到去除的目的。氣態(tài)污染物。傳統意義上的等離子體是具有大量電離的中性氣體。
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