等離子體的“活性”組分包含：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩態(tài)）、光子等。等離子清洗機就是通過(guò)運用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品外表，油漆附著(zhù)力一般多少級合格然后實(shí)現清潔、涂覆等目的。 等離子清洗機優(yōu)勢一、清洗目標經(jīng)等離子清洗之后是枯燥的，不需要再經(jīng)枯燥處理即可送往下一道工序。
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1）等離子表面處理器可以使操作者擺脫有害溶劑對人的危害，油漆附著(zhù)力劃格試驗同時(shí)避免濕式清洗時(shí)清洗物易損壞的問(wèn)題，避免從ODS中選擇有害溶劑，這樣清洗后就不會(huì )產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法，在世界區域內對環(huán)境保護的重視程度日益明顯；2）高頻產(chǎn)生的表面等離子體不同于激光束等直射光，等離子體表面處理器是通過(guò)等離子體散射產(chǎn)生的，使其能夠穿透到物體的微孔和凹陷處，完成各種清洗任務(wù)，這樣就不用過(guò)多考慮被清洗物體的形狀，另外，這些難以清洗的部位的清洗效果與氟利昂相似或更好。
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其原理是利用射頻源產(chǎn)生的高壓交流電場(chǎng)，油漆附著(zhù)力一般多少級合格將氧、氬、氫等工藝氣體激發(fā)成高活性或高能離子，通過(guò)化學(xué)反應或物理作用對工件表面進(jìn)行處理，在分子水平上去除污染物，提高表面活性。根據污染物的不同，采用不同的清洗工藝，可達到理想的清洗效果。真空等離子體清洗在真空下產(chǎn)生等離子體，與有機污染物和微粒污染物反應或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)。通過(guò)工作氣流和真空泵去除揮發(fā)性物質(zhì)，使工件表面得到清潔。
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等離子清洗/蝕刻技術(shù)是對等離子特殊性能的一種具體應用。等離子清洗/蝕刻機通過(guò)在密閉容器中設置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)來(lái)產(chǎn)生等離子，并使用真空泵產(chǎn)生一定的真空度。它越來(lái)越薄，分子和離子的分子間距和自由運動(dòng)距離越來(lái)越長(cháng)。它與電場(chǎng)的作用相撞形成等離子體。這些離子非?；钴S，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵。暴露的表面會(huì )引起化學(xué)反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)。
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