正常排氣時(shí)間約為幾分鐘。 2) 將用于等離子清洗的氣體引入真空室以穩定室內壓力。根據清洗劑的不同,江蘇粉末等離子清洗機廠(chǎng)家價(jià)格可以使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣和四氟化碳等氣體。 3)在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體分解產(chǎn)生等離子體,通過(guò)輝光放電產(chǎn)生等離子體,將真空室內產(chǎn)生的等離子體完全包裹起來(lái)。被處理。工件的清洗開(kāi)始,清洗過(guò)程通常持續幾十秒到幾十分鐘。 4) 清洗后,關(guān)閉電源,用真空泵排出氣體和汽化的污垢。

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這些氣體在大氣層中的壽數很長(cháng),江蘇粉末等離子清洗機代理會(huì )在很大程度上加劇全球變暖,其熱能比二氧化碳高出4個(gè)量級,因而世界環(huán)保安排從1994年開(kāi)端開(kāi)展削減這種氣體排放的技能。NF3對溫室效應的影響較小,能夠代替上述的含F氣體。 另一個(gè)運用于半導體職業(yè)的制造過(guò)程是運用等離子清洗機清洗去除硅膠片上元件表面的光敏有機資料制造的光刻膠。在堆積工藝開(kāi)端前,需求將殘留的光刻膠去除潔凈。

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