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低溫大氣射頻輝光等離子體系統應用領(lǐng)域平面顯示器LCD、LTPS、OLED等設備的預連接工藝，用于清洗各種基板的玻璃表面。不需要真空排氣。均勻的大氣壓等離子體用于阻止表面清潔過(guò)程，不會(huì )產(chǎn)生電流或電弧、大氣壓等離子體問(wèn)題和對基板的損壞。此外，多元電極與傳統的大氣壓等離子體技術(shù)相比，比較容易擴展，因此可以從第 1 代小型基板到第 10 代大型基板擴展 3000 毫米。

無(wú)意中接觸到等離子放電區域，會(huì )產(chǎn)生“針刺”感，但不會(huì )出現危機人身安全的問(wèn)題。我們通常會(huì )將放電區域屏蔽起來(lái)，做到物理隔離。所以不會(huì )產(chǎn)生危險。。解讀 關(guān)于plasma清洗設備表層工藝處理性能：plasma清洗設備可以和各種不同的后續制作工藝相配合，其中為典型的后續加工包括包裝印刷，粘合，噴涂。

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