2.3 等離子體的種類(lèi) (1) 低溫和高溫可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩種。在等離子體中,泰安等離子不同粒子的溫度實(shí)際上是不同的,它們所具有的溫度與動(dòng)能有關(guān)。速度和質(zhì)量是相關(guān)的。存在于等離子體中的離子的溫度用Ti表示,電子的溫度用Te表示,原子等中性粒子的溫度用分子或原子團的Tn表示。如果Te遠高于Ti和Tn,即低壓氣體,此時(shí)氣體的壓力只有幾百帕斯卡。
2.4.1 原子團等自由基與物體表面的反應 這些自由基在等離子體中發(fā)揮著(zhù)重要作用,泰安等離子表面處理機因為它們電性重、壽命長(cháng)、離子含量比離子多。自由基主要出現在化學(xué)反應過(guò)程中能量轉移的“激活”中。被激發(fā)的自由基具有很高的能量,因此它們與表面分子結合時(shí)往往會(huì )形成新的自由基。新形成的自由基是一樣的,在不穩定的高能??狀態(tài)下,容易發(fā)生分解反應,新的自由基與小分子同時(shí)產(chǎn)生。這個(gè)反應過(guò)程繼續并最終分解成簡(jiǎn)單的分子,如水和二氧化碳。
另外,泰安等離子清洗設備當自由基與表面分子結合時(shí),會(huì )釋放出大量的結合能,這是引發(fā)新的表面反應的驅動(dòng)力,在被去除的材料表面引起化學(xué)反應。 2.4.2 電子與物體表面的相互作用 另一方面,電子對物體表面的影響, 能促進(jìn)吸附在物體表面的氣體分子的分解和解吸。另一方面,大量的電子沖擊有利于觸發(fā)化學(xué)反應。電子的質(zhì)量非常小,移動(dòng)速度比離子快得多。處理等離子體時(shí),電子比離子更快地到達物體表面,使表面帶負電荷。這有助于引發(fā)進(jìn)一步的反應。
現有等離子表面處理機中普遍使用的氣動(dòng)調節/處理設備根據其結構特點(diǎn)可分為復合式和一體式。帶報警輸出的二次減壓器:將帶報警輸出功能的壓力表設置在燃氣壓力控制閥上,泰安等離子實(shí)時(shí)監測設備氣壓是否滿(mǎn)足使用要求。壓力過(guò)低會(huì )輸出報警信號,保證設備正常運行,保證工藝氣體的穩定。真空電磁閥:連接腔體的每個(gè)氣路閥必須滿(mǎn)足真空密封的要求,因為低壓等離子設備清洗機運行時(shí)必須保持真空度和真空腔的密封性。 您需要選擇匹配的氣路。
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