-表面微刻蝕與等離子清洗機刻蝕：不同材料通過(guò)相應的氣體組合形成強腐蝕性氣相等離子體，微弧氧化表面附著(zhù)力與材料表面的本體反應并物理撞擊，使材料表面的固體物質(zhì)氣化，產(chǎn)生CO.CO2.H2O等氣體，達到微刻蝕的目的。主要特點(diǎn)：腐蝕均勻，不改變材料基材性能；它能有效地對材料表面進(jìn)行微刻蝕，并對微刻蝕進(jìn)行控制。。
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第三個(gè)環(huán)節是優(yōu)化引線(xiàn)鍵合（打線(xiàn)） 芯片引線(xiàn)鍵合 集成電路引線(xiàn)鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性影響，微弧氧化表面附著(zhù)力鍵合區必須無(wú)污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有(機)殘渣等都會(huì )嚴重削弱引線(xiàn)鍵合的拉力值。傳統的濕法清洗對鍵合區的污染物去除不徹底或者不能去除，而采用等離子清洗能有效去除鍵合區的表面沾污并使其表面活(化)，能明(顯)提高引線(xiàn)的鍵合拉力，極大的提高封裝器件的可靠性。
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通過(guò)活性等離子體在真空瞬時(shí)高溫條件下對孔壁中的鉆孔污染物、殘膠、油污等污染物做好物理轟擊和化學(xué)反應，微弧氧化表面附著(zhù)力使其部分蒸發(fā)或在高能離子體的沖擊下破碎，使被清洗物體的表面物質(zhì)變成顆粒和氣體物質(zhì)，通過(guò)抽真空排出，達到清洗目的。
對微弧氧化有附著(zhù)力的底漆
低溫等離子體去除污染物的機理研究；在等離子體化學(xué)反應過(guò)程中，反應過(guò)程中的能量由等離子體傳遞交付情況大致如下：（1）電場(chǎng)+電子&RARR；高能電子（2）高能電子+分子（或原子）&RARR；（激發(fā)態(tài)原子、激發(fā)態(tài)基團、游離基團）活性基團（3）活性基團+分子（原子）&RARR；產(chǎn)品+熱量（4）活性組+活性組&RARR；產(chǎn)品+熱量從上述過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)中獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量傳遞給分子或原子。
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如果等離子清洗機不放電或放電不穩定，往往是由于等離子發(fā)生器的阻抗匹配造成的。等離子發(fā)生器傳輸能量時(shí)，如果反應室和電極的阻抗（以下簡(jiǎn)稱(chēng)負載）不等于傳輸線(xiàn)的特性阻抗，則在傳輸過(guò)程中會(huì )發(fā)生反射，部分能量是全部能量. 不被等離子等離子清洗機的負載所吸收，直接影響等離子表面處理的效果，而是因加熱而損失。
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