優(yōu)點(diǎn):(大氣型快速量產(chǎn))2、(真空等離子清洗機)原理也是一樣的,為什么自噴漆附著(zhù)力不好在真空腔體里,通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品面,以達到清洗目的。優(yōu)點(diǎn):(真空型精密全面)。

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電暈等離子處理器技術(shù)是一種新的半導體制造技術(shù)。該技術(shù)以前應用于半導體制造領(lǐng)域,為什么自噴漆附著(zhù)力不好是必不可少的半導體制造工藝。因此,它是集成電路加工中一項長(cháng)期成熟的技術(shù)。由于電暈等離子處理器產(chǎn)生的等離子是一種高能量、高活性的物質(zhì),它對所有有機材料都有極好的蝕刻(效果)效果。電暈等離子處理器生產(chǎn)的等離子產(chǎn)品是干法工藝,由于不會(huì )造成污染,近年來(lái)被廣泛用于半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)中。

1、將樣品置于艙內;關(guān)閉三通閥(箭頭朝下);緊握清潔機門(mén),什么自噴漆附著(zhù)力強接近真空室;打開(kāi)真空泵的電源開(kāi)關(guān),等待幾分鐘等待抽空艙內空氣的釋放,清潔機門(mén)。2.抽氣,打開(kāi)與室內空氣相通的三通閥(lever指向針形閥needlevalve);輕輕打開(kāi)針型閥,讓空氣進(jìn)入清洗機艙內。(首先關(guān)閉needlevalve)。形成一個(gè)等離子體。

根據清洗材料的不同,為什么自噴漆附著(zhù)力不好可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣。(3)在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體分解,通過(guò)輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。讓真空室內產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋待處理工件,開(kāi)始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。(4)清洗后,切斷高頻電壓,并將氣體和汽化的污物排出,同時(shí)吹入真空室,并使氣壓上升到一個(gè)大氣壓。

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由于氮氣可以降低等離子體溫度,一些射流等離子體清洗也可以使用氮氣。電暈放電需要注意的是,在等離子清洗機中還有一種產(chǎn)品叫電暈。事實(shí)上,電暈也是等離子清洗機的一種分類(lèi)。電暈機的洗滌溫度一般較高。電暈機的洗滌溫度與射流等離子體的洗滌溫度相近。有時(shí),不耐高溫的材料也會(huì )用氮氣清洗。其實(shí),不必過(guò)于擔心溫度問(wèn)題。目前的等離子清洗機可以很好的調節溫度,使物料清洗達到理想的效果(效果)。。

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