等離子清洗機清洗效果好壞與其清洗工藝參數息息相關(guān),等離子清洗機清洗工藝參數的設定將直接作用在整個(gè)清洗工藝流程中,而其大小、長(cháng)短等在清洗過(guò)程中所體現的作用是不同的,主要的工藝參數及其簡(jiǎn)單含義如下:
工藝氣體種類(lèi):不同的工藝氣體種類(lèi)所激發(fā)的等離子的性能是不同的,需要根據被清洗材料選擇不同的工藝氣體。
工藝氣體流量:流量的大小直接導致了形成離子體量的多少,形成了離子體越多,作用于工件表面的反應越強烈,進(jìn)而清洗效果也越好,但需與射頻功率協(xié)調作用。
射頻功率:決定了氣體形成離子態(tài)的能量大小,功率越大能夠激發(fā)越多氣體形成離子態(tài),清洗效果越明顯,但其余參數不變的前提下,功率越大,倉體內溫度越高,且當氣體流量達到飽和后,一定射頻功率能激發(fā)的離子體也會(huì )達到飽和,需根據實(shí)際條件配合氣體流量及工藝要求選擇。
清洗時(shí)間:其余參數不變的前提下,清洗時(shí)間越長(cháng),清洗效果越好,但伴隨著(zhù)溫度升高,對某些不耐高溫及易損工件會(huì )造成損壞,因此不適宜長(cháng)時(shí)間清洗,一般來(lái)說(shuō),希望在最短的時(shí)間內達到清洗的最佳效果,但這和很多因素相關(guān),并且有時(shí)參數之間相互制約,這需要在所有參數中摸索最優(yōu)的參數。功率越大,清洗時(shí)間越短,但會(huì )導致清洗室和零件溫度升高。對于許多處理工藝來(lái)說(shuō),較高的溫度會(huì )導致清洗不均勻或零件發(fā)生刻蝕,因此如何選擇功率、壓力和氣體種類(lèi)以達到最佳配比是需要大量實(shí)驗摸索的。
真空壓力值:倉體內的真空度影響工藝氣體的電離程度,真空度越高,電子運動(dòng)的平均自由程越大,能量也就越大,有利于電離,但是在氧氣流量和功率一定情況下,要提高真空度,必須更換大抽速的泵,大功率泵會(huì )造成氣體離子密度降低,從而使清洗效果變差。
在等離子清洗時(shí),影響清洗工藝的參數中,真空壓力值由倉體本身焊接密封性等決定,選擇合適的真空泵達到的真空壓力值一般已成為定值,工藝氣體選擇、工藝氣體流量大小、射頻功率、清洗時(shí)間等都可以根據工藝參數在等離子清洗機屏幕上很簡(jiǎn)便地調節數值,達到合理的匹配,獲得較好的清洗效果。等離子清洗機參數設置并不是唯一的,需要慢慢摸索,如果你沒(méi)有這方面的經(jīng)驗,可以直接詢(xún)問(wèn)生產(chǎn)廠(chǎng)家,廠(chǎng)家一般都有各種經(jīng)驗參數可以提供。24373