因為每種類(lèi)型的氣體原子分子物理學(xué)中有自己的能級結構,所以高能電子可以激發(fā)氣體的不同層面,當氣體分子和原子從高到低水平輻射何時(shí)返回不同的能量光子,光子能量代表著(zhù)不同的波長(cháng),通過(guò)對光譜的分析,聚氨酯對木材的附著(zhù)力可以對等離子體刻蝕過(guò)程進(jìn)行有效的分析。這種診斷過(guò)程經(jīng)常用于半導體制造中對電火花的監測。圖2等離子體中的激勵爆震和光譜輻射電容耦合等離子體源的典型腔體結構如下圖所示。功率以13.56MHZ的一般頻率加載到上、下電極。
等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。
2、等離子發(fā)生器同時(shí)產(chǎn)生大量的負離子及正離子,聚氨酯對pp的附著(zhù)力由于負離子的數量遠遠大于正離子的數量,所以正離子產(chǎn)生后馬上會(huì )被負離子中和,故空氣中不可能會(huì )存在大量的正離子,正離子與負離子本身是空氣成份中的一部分,故適量的正離子對人體沒(méi)有副作用,因此等離子發(fā)生器在對空氣進(jìn)行凈化殺菌的同時(shí)允許在有人的空間里進(jìn)行,對人體無(wú)副用。。
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2) 蒸發(fā)。即固體表面接受來(lái)自等離子體的能量而熔化、蒸發(fā)。3) 濺射。當離子或中性粒子入射到表面時(shí),它的一部分能量傳給少數靶原子,其中有些在點(diǎn)陣達到熱平衡之前發(fā)射出去,這就是濺射。濺射是閾值性的,即當入射粒子的能量大于某一閾值(通常為5~50eV)時(shí),才出現濺射。4) 化學(xué)濺射。發(fā)生在等離子體裝置表面的化學(xué)過(guò)程。主要是由于表面催化作用引起的。當粒子入射到表面后,在表面進(jìn)行化學(xué)反應生成揮發(fā)性產(chǎn)物而釋放。
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