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化學(xué)法是指利用化學(xué)試劑對材料表面進(jìn)行處理,改善其表面性能的方法,包括酸洗、堿洗、過(guò)氧化物或臭氧處理等。物理學(xué)改性是指利用物理技術(shù)對材料表面進(jìn)行處理,以提高其表面性能,包括等離子表面處理、光輻射處理、火焰處理、力化學(xué)處理、涂層處理和表面改性劑的添加。等離子表面處理是通過(guò)化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理,實(shí)現分子水平的污染物去除(一般厚度為3~30nm),從而提高工件表面活性。
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