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等離子體放電過(guò)程中發(fā)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反響器內所形成的低溫等離子體氛圍中，光纖涂料附著(zhù)力檢測報告一定能量的自由電子將氧分子分化成氧原子，之后通過(guò)三體碰撞反響形成臭氧分子，一起也發(fā)生著(zhù)臭氧的分化反響。臭氧，化學(xué)分子式為03，又稱(chēng)三原子氧、超氧，因其相似魚(yú)腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分化。
等離子體處理設備主要包括預真空室、刻蝕室、送風(fēng)系統和真空系統四部分。等離子體處理設備的工作原理是化學(xué)過(guò)程和物理過(guò)程共同作用的結果。真空壓力下,射頻(RF)力量的基本原則產(chǎn)生的射頻輸出環(huán)耦合線(xiàn)圈,以一定比例混合蝕刻氣體輝光放電的耦合,高密度等離子體、電極的射頻(RF),進(jìn)行等離子體轟擊襯底表面,基片圖形區半導體材料的化學(xué)鍵被中斷，光纖涂料附著(zhù)力強嗎它與被蝕刻的氣體形成揮發(fā)性物質(zhì)，以氣體的形式離開(kāi)基片，并被抽離真空管。。
在 PLC 出現之前，光纖涂料附著(zhù)力強嗎所有等離子清洗機的控制系統主要基于繼電器控制。繼電器控制通常有兩種控制方式：按鈕控制和觸點(diǎn)控制。按鈕控制是指使用手動(dòng)控制器來(lái)控制電氣設備的電路。而觸點(diǎn)控制則使用繼電器進(jìn)行邏輯控制，其控制對象既包括電氣設備電路，也包括繼電器本身的線(xiàn)圈。繼電器控制是利用電氣元件中的機械觸點(diǎn)串聯(lián)和并聯(lián)形成邏輯控制電路。實(shí)驗真空等離子清洗機由按鈕操作控制。
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N2+O2+CF4→N•+O•+•OF+•OF3+•CO+•COF+F•+………………………式（1）等離子體與高分子材料（C、H、O、N）反應方程式見(jiàn)式（2）。
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