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二、等離子體處理的作用原理等離子體,電泳漆后噴粉附著(zhù)力不好也被稱(chēng)為物質(zhì)的第四態(tài),不同于固體、液體和氣體的三種常見(jiàn)形式。它是一種具有某種顏色的準中性電子流,是一種正離子和電子密度近似相等的電離氣體。在等離子體狀態(tài)下,電子和原子、中性原子、分子和離子無(wú)序地運動(dòng),具有較高的能量,但整體上是中性的。高真空室中的氣體分子被電能激發(fā),加速的電子相互碰撞,使原子和分子最外層的電子被激發(fā)脫離軌道,產(chǎn)生具有高反應性的離子或自由基。
為此,電泳漆后噴粉附著(zhù)力不好氬等離子清洗機廣泛應用于半導體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。用真空等離子清潔器電離氬氣產(chǎn)生的等離子是深紅色的。因此,在你平時(shí)看到的真空等離子清洗機中,啟動(dòng)時(shí)真空室內部顯示為暗紅色,說(shuō)明真空等離子正在反應。在相同的放電環(huán)境下,氫氣和氮氣產(chǎn)生的等離子體顏色為紅色,但氬等離子體的亮度低于氮氣,高于氫氣,更容易區分。
不過(guò),噴粉附著(zhù)力檢驗標準由于稠密等離子體具有很強的集體效應,粒子間耦合得很緊,因此這種理論的局限性很大。 磁流體力學(xué)不討論單個(gè)粒子的運動(dòng),而是把等離子體當作導電的連續媒質(zhì)來(lái)處理,在流體力學(xué)方程中加上電磁作用項,再和麥克斯韋方程組聯(lián)立,就構成磁流體力學(xué)方程組,這是等離子體的宏觀(guān)理論。它適用于研究稠密等離子體的宏觀(guān)性質(zhì)如平衡、宏觀(guān)穩定性等問(wèn)題,也適用于研究冷等離子體中的波動(dòng)問(wèn)題。
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2.2工藝參數在等離子體清洗過(guò)程中,影響清洗效率的參數主要包括以下幾個(gè)方面:(1)放電壓力:對于低壓等離子體,等離子體密度越高,電子溫度越低。等離子體的清洗效果取決于等離子體的密度和電子溫度。例如,密度越高,清洗速度越快,電子溫度越高,清洗效果越好。因此,低壓等離子體清洗工藝中,放電壓力的選擇是非常重要的。
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