依據等離子體中的重粒子溫度,可以把等離子體分為兩大類(lèi),熱等離子體和冷等離子體。以3×103K-3×104K,基本達到了熱力學(xué)平衡,具有統一的熱力學(xué)平衡溫度,可通過(guò)麥克斯韋的熱力學(xué)平衡態(tài)速度分布,波爾茲曼粒子能量分布,沙哈方程等方法確定等離子體狀態(tài)和參數。熱等離子體能量密度高,主要用于材料合成、球化、致密性和涂層保護。
在低溫等離子體中,重粒子的溫度只有室溫,而電子溫度可以達到成千上萬(wàn)度,因此遠離熱力學(xué)平衡狀態(tài),例如輝光放電屬于低溫等離子體。冷等離子主要用于等離子蝕刻、沉積和等離子表面裝飾。電洗滌溫度是許多用戶(hù)關(guān)心的問(wèn)題,電洗滌時(shí),電洗滌火焰看起來(lái)也和一般的火焰差不多,而電洗滌設備如采用中頻電源,功率大,能量猛,不加水冷溫度也很高,若洗滌材料不耐溫,則需注意溫度。
電漿清洗機的電源常用的是13.56KHz射頻電源,它產(chǎn)生的等離子密度高,能量柔軟,溫度低,一般功率為1~2KW,大功率為5KW,小功率為數百W,多功率為40KHz,中頻功率為40KHz,與射頻電源相反,電漿密度不高,但功率大,能量高,大功率為幾十KW。真空等離子體清潔器放電射頻清潔器的溫度與平時(shí)室內氣溫也差不多,當然如果整天都在使用真空等離子體清潔器,還是需要加水冷卻系統。
電漿噴射的平均溫度介于200至250攝氏度。如果能夠正確設定距離和速度,表面溫度可以達到70-80℃。本工藝適用于各種標準品(金屬、陶瓷、玻璃、塑料、彈性體等)的清洗,一般采用噴射式等離子體清洗裝置,也可應用于流水線(xiàn)上的等離子體清洗裝置,由于流水線(xiàn)的不斷運轉,材料在噴嘴下停留時(shí)間較長(cháng)。由于氮氣能降低等離子體溫度,有些噴射等離子體清洗也能使用氮。電暈放電需要注意的是,等離子體清洗機中還有一種產(chǎn)品叫做電暈,其實(shí)電暈也是等離子體清洗機的一種分類(lèi)。電暈機的洗滌溫度一般較高,電暈機與噴射等離子體的洗滌溫度相似,有時(shí)遇到不耐高溫的材料,也會(huì )用氮清洗。事實(shí)上,沒(méi)有必要太擔心溫度問(wèn)題。目前的等離子清洗機可以很好地調節溫度,使材料清洗達到理想的效果(效果)。24558