等離子表面處理在汽車(chē)行業(yè)中的應用 表面活化保險杠用于由預涂 PP/EPDM 化合物制成的保險杠，pdc-mgplasma刻蝕是汽車(chē)較大的外罩之一，作為單獨的組件連接到汽車(chē)上。車(chē)輛安全保護、造型效果和空氣動(dòng)力學(xué)。為降低成本和油耗，對汽車(chē)輕量化的需求不斷增加，汽車(chē)保險杠中低密度、耐腐蝕塑料材料的用量逐年增加。在眾多塑料材料中，PP/EPDM塑料因其價(jià)格低廉、易于加工、靈活性大而受到汽車(chē)保險杠制造商的青睞。

1990年代以來(lái)，pdc-mgplasma刻蝕機器隨著(zhù)人們審美意識的變化對汽車(chē)外觀(guān)的要求越來(lái)越嚴格。涂上塑料保險杠后，得到與車(chē)身相同的色澤，使汽車(chē)看起來(lái)更加一體，遮蓋了塑料表面的花紋、劃痕等缺陷，提高了表面硬度，增加了硬度。它具有抗紫外線(xiàn)性，在耐用性、耐候性、耐化學(xué)性、防塵性等方面具有更好的效果。因此，對如何涂裝PP/EPDM保險杠的要求也越來(lái)越高。聚丙烯本身是一種具有低表面張力的低極性聚合物。

用三元乙丙橡膠改性后，pdc-mgplasma刻蝕涂層的耐溶解性有所提高，但其極性較低，PP和EPDM的相分布不均勻，加工成塑料制品時(shí)易向表面轉移?；瘜W(xué)添加劑和無(wú)機顏料和填料的運輸會(huì )對PP/EPDM汽車(chē)保險杠的涂層產(chǎn)生不利影響，因此在噴涂前必須對基材進(jìn)行適當的預處理?；鹧娣ㄊ且环N常用的方法，它是利用火焰的氧化火焰部分（藍色部分）與PP材料表面接觸，直至表面光滑，氧化表面使其極性增加。

提高 PP/EPDM 汽車(chē)保險杠?chē)娡康目煽啃院头€定性，pdc-mgplasma刻蝕并顯著(zhù)降低噴涂缺陷率。借助汽車(chē)燈座和燈殼中的 LED 技術(shù)，最新款的前照燈可以在汽車(chē)的整個(gè)生命周期內連續使用，而無(wú)需更換燈泡。為確保較長(cháng)的使用壽命，您需要有效防止水分進(jìn)入。聚丙烯 (PP) 和聚碳酸酯 (PC) 前照燈的附著(zhù)力與尾燈一起使用時(shí)，粘合劑應具有出色的密封性能并提供可靠的粘合。

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以L(fǎng)A2O3/Y-AL2O3和CEO2/Y-AL2O3為催化劑時(shí)，C2H4和C2H2的收率分別為19.8%和21.8%。在等離子體中引入 PD/Y-AL2O3；催化劑顯著(zhù)提高了乙烯的選擇性，將 C2H4/C2H2 的比值提高到 7.4，但降低了 C2H6 的轉化率。同時(shí)將C2H2還原為C2H4。由 C2H6 引起。

上述實(shí)驗結果表明，稀土氧化物催化劑有利于提高C2H6的轉化率以及C2H4和C2H2的收率，PD/Y-AL2O3有利于C2H2的生產(chǎn)。

提高下行電遷移的性能。在銅布線(xiàn)中，下游電遷移故障一般比上游電遷移故障發(fā)生得更早，但如果上游結構的通孔存在空洞缺陷，則上游電遷移故障發(fā)生得更早，導致早期故障增加。隨著(zhù)集成電路功能尺寸的縮小，雙鑲嵌工藝的填銅問(wèn)題成為一大挑戰，而刻蝕定義的溝槽和通孔尺寸和形貌對于良好的填銅至關(guān)重要。 LIU等人系統研究了雙大馬士革結構的臨界尺寸與EM初始斷裂的關(guān)系。圖 2 顯示了蝕刻后的雙鑲嵌結構。

通過(guò)減小介質(zhì)材料的厚度，減小溝槽的刻蝕深度，或者增加通孔的極限尺寸，可以減小縱橫比，有效減少上游EM的過(guò)早失效。..減少層間介質(zhì)材料和金屬線(xiàn)的厚度會(huì )增加RC延遲，增加過(guò)孔的極限尺寸會(huì )導致與過(guò)孔相關(guān)的介質(zhì)TDDB出現問(wèn)題，因此需要找到EM或電。請注意，有是。參數和 TDDB。平衡點(diǎn)。

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在工藝開(kāi)發(fā)的后期，pdc-mgplasma刻蝕溝槽刻蝕工藝是固定的，只能改變調整插塞高度的步驟。采用統一的實(shí)驗設計，通過(guò)少量實(shí)驗找到了合適的工藝。整個(gè)晶圓的蝕刻速率均勻性已經(jīng)降低，但它與阻擋層沉積工藝相配合。它還消除了上游 EM 的初始故障。。等離子蝕刻對LOW-KTDDB的影響材料。 RC 延遲顯著(zhù)降低了電介質(zhì)的機械性能并增加了缺陷。這些不利因素增加了金屬互連之間擊穿的嚴重問(wèn)題。