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所謂直接等離子體, 亦稱(chēng)作反應離子蝕刻, 是等離子的一種直接浸蝕形式。它的主要優(yōu)勢是高的蝕刻率和高的均勻性。直接等離子體具有較低浸蝕, 但工件卻暴露在射線(xiàn)區。順流等離子是種較弱的工藝, 它適合去除厚為1～5nm的薄層。

在引線(xiàn)鍵合之前，上海rtr型真空等離子體噴涂設備哪里找氣體等離子體技術(shù)可以用來(lái)清洗芯片接點(diǎn)，改善結合強度及成品率，表3示出一例改善的拉力強度對比，采用氧氣及氬氣的等離子體清洗工藝，在維持高工序能力指數Cpk值的同時(shí)能有效改善拉力強度。據資料介紹，研究等離子體清洗的效能時(shí)，不同公司的不同產(chǎn)品類(lèi)型在鍵合前采用等離子體清洗，增加鍵合引線(xiàn)拉力強度的幅度大小不等，但對提高器件的可靠性而言都很有好處。。

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與等離子體清潔器室中 PDMS 空氣污染的成功等離子體耦合相關(guān)的參數等離子室中的氣體成分可以改變玻璃或 PDMS 表面的化學(xué)鍵。一些雜質(zhì)（即使是非常少量的）會(huì )污染樣品表面。最常見(jiàn)的污染物是來(lái)自真空泵或壓縮機的油分子。由于等離子清潔器腔室中的油分子，可能會(huì )顯示與前一個(gè)相同的等離子，但由于化學(xué)成分的改變，PDMS 的結合力不是很強。氣體選擇表面狀況取決于所使用的氣體。腔室內的大氣壓等離子體幾乎總能滿(mǎn)足實(shí)驗需要。

在相同的工藝條件(壓力場(chǎng)、溫度場(chǎng)等)下，使樹(shù)脂更充分地浸漬纖維表面，提高了浸漬均勻性，改善了復合材料液體成型的工藝性能。 3、改善復合材料表面的涂層性能： 常規的清洗方法不僅要采用有機溶劑，而且由于磨削過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生大量的粉塵污染，對環(huán)境造成嚴重影響，危害操作者的人身安全。

等離子表面處理技術(shù)不僅可以清洗外殼在注塑時(shí)留下的油污，更能很大程度的活(化)塑料外殼表面，增強其印刷、涂覆等粘接效(果)，使得外殼上涂層與基體之間很牢固地連接，涂覆效(果)很均勻，外觀(guān)更加亮麗，并且耐磨性大大增強，長(cháng)時(shí)間使用也不會(huì )出現磨漆現象。

等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。  等離子清洗機原理：  等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。

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