由于等離子體中存在電子、離子和自由基等活性粒子,天津等離子處理機批發(fā)它們很容易與固體表面本身發(fā)生反應。反應的種類(lèi)可分為物理反應和化學(xué)反應。物理反應主要以沖擊的形式將污染物與表面分離,然后通過(guò)氣體將它們帶走?;瘜W(xué)反應是活性粒子之間的反應。產(chǎn)生揮發(fā)物并被帶走的污染物。在實(shí)際使用過(guò)程中,通常使用Ar氣進(jìn)行物理反應,使用O2或H2進(jìn)行化學(xué)反應。圖1為反應原理示意圖。等離子清洗的效果通常在滴水試驗中直觀(guān)地體現出來(lái)。

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簡(jiǎn)而言之,天津等離子體清洗機廠(chǎng)家電話(huà)等離子體清洗技能結合了等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固兩相界面反應,能夠有效鏟除殘留在資料外表的有機污染物,并確保資料的外表及本體特性不受影響,現在被考慮為傳統濕法清洗的首要替代技能。 更重要的是,等離子體清洗技能不分處理目標的基材類(lèi)型,對半導體、金屬和大多數高分子資料均有很好的處理效果,并且能夠完成整體、部分以及復雜結構的清洗。

等離子表面處理機在塑料橡膠行業(yè)的應用:聚丙烯、聚四氟乙烯等塑料材料是非極性的,天津等離子體清洗機廠(chǎng)家電話(huà)這使得工業(yè)應用中的一些塑料制品在沒(méi)有表面粘合的情況下,不經(jīng)過(guò)等離子表面處理就很難粘合。 ,印刷、涂膠、涂膠等工藝都非常低效甚至不可能。一些工藝在制造過(guò)程中使用一些化學(xué)品來(lái)處理這些橡膠和塑料的表面。這樣可以改變粘合效果,但是這種方法難學(xué),化學(xué)品本身有毒,操作非常復雜,成本高。此外,化學(xué)品會(huì )影響橡膠和塑料材料固有的優(yōu)越性能。

對于實(shí)際的原子層蝕刻過(guò)程中每一個(gè)循環(huán)的反應A和B而言,天津等離子體清洗機廠(chǎng)家電話(huà)理想的單層自限制蝕刻過(guò)程很難被實(shí)現。反應A包括4種不同的表面改性機理,分別為化學(xué)吸附、沉積、轉換和剝離。反應B大多需要等離子體輔助,運用離子進(jìn)行各向異性蝕刻,得到高深寬比的蝕刻結構。等離子表面處理機從原子層蝕刻開(kāi)發(fā)到目前為止,已經(jīng)被證明適用于二十多種不同的材料,包括半導體、絕緣體和金屬等。相信在不久的將來(lái),它會(huì )被應用于更多的材料蝕刻。。

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