該裝置的設備成本不高,陶瓷plasma蝕刻機整體成本低于傳統的濕法清洗工藝,因為該清洗工藝不需要使用更昂貴的有機溶劑;http://www.mahangnews.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png3)http://www.mahangnews.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png型腔容量可定制它具有高良率的特性,因為使用批處理和等離子清洗可以在幾分鐘內完成整個(gè)清洗過(guò)程;http://www.mahangnews.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png4)無(wú)論被加工的材料種類(lèi)如何,都具有廣泛的適用性。金屬材料、半導體器件、氧化物、玻璃、陶瓷和大多數聚合物材料可以在粘合、焊接和噴涂之前進(jìn)行等離子體預處理,以獲得完全清潔、無(wú)氧化物的表面。