一些非聚合物無(wú)機氣體（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低頻下被激發(fā)，電極表面活化能產(chǎn)生各種含有離子、激發(fā)分子、自由基等的活性粒子。一般來(lái)說(shuō)，在等離子清洗中，活性氣體可以分為兩類(lèi)。一種是惰性氣體（Ar2、N2 等）的等離子體，另一種是反應氣體（O2、H2 等）的等離子體。等離子體產(chǎn)生的原理如下。對一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十MHz)，在電極之間形成高頻交流電場(chǎng)，該區域的氣體被交流電場(chǎng)激發(fā)而產(chǎn)生等離子體。
稱(chēng)為電暈放電，鐵電極表面如何被刻蝕活化電壓和頻率、電極間距、處理溫度和時(shí)間都會(huì )影響電暈處理的有效性。電源電壓越高，頻率越高，加工強度越高，加工效果越好。但是，如果電源頻率太高或電極間隙太寬，就會(huì )出現電極過(guò)多。如果電極間距太小，則會(huì )出現感應損耗和能量損耗。當加工溫度高時(shí)，表面特性迅速變化。處理時(shí)間越長(cháng)，極性基團越多，但如果處理時(shí)間過(guò)長(cháng)，則可能在表面形成分解產(chǎn)物，形成新的弱界面層。
辨別真空等離子清洗機正負電極板的方法如下：我們打開(kāi)真空等離子清洗機的反應倉，電極表面活化能會(huì )發(fā)現里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤(pán)的作用)。那么哪個(gè)是正極板，哪個(gè)是負極板呢。一般來(lái)說(shuō)在真空等離子清洗機反應倉的后部安裝有兩個(gè)銅電極，其中左邊為負極，右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉體側壁的鋁支撐對應。
當沒(méi)有施加電場(chǎng)時(shí)，鐵電極表面如何被刻蝕活化整個(gè)鐵電體的外部不顯示極化狀態(tài)，因為空間中的疇取向是隨機的。但是，在足夠強的外電場(chǎng)作用下，電場(chǎng)的偶極矩向外電場(chǎng)方向轉移。這形成了極化強度（極化電荷）和外加場(chǎng)強（電壓）電位回路。磁滯錢(qián)圍起來(lái)的面積代表了每單位體積鐵電體在每個(gè)電場(chǎng)變化...
（南山大氣等離子表面活化改性處理）.jpg)
