圖一 物理等離子清洗化學(xué)等離子清洗過(guò)程:清洗物的表面主要是以化學(xué)反應的形式表現作為主要的清洗目的，增強油漆附著(zhù)力彮劑主要通過(guò)氧氣，即在真空反應室中通過(guò)射頻或微波能量使氧氣電離成等離子體，該等離子體中包含離子、原子、分子及電子與有機物發(fā)生化學(xué)反應，形成CO2和H2O，然后經(jīng)真空泵將其抽走，達到清洗目的，如圖2所示。

AMAT的臺面甚至日立的8190XT通過(guò)同步脈沖實(shí)現了低電子衰落。同步脈沖是指源功率和底電極偏置功率的同步開(kāi)關(guān)。關(guān)閉時(shí)，增強油漆附著(zhù)力的界面劑等離子體清潔器等離子體中的電子大大減少，等離子體由電子-離子型轉變?yōu)殡x子-離子型。同時(shí)，由于底部電極表面鞘層的消失，使得更好地控制等離子體中的正負分離成為可能。RLSA通過(guò)空間擴散實(shí)現離子-離子等離子體，MESA/8190XT通過(guò)時(shí)間（等離子體切換）實(shí)現離子-離子等離子體。

如果說(shuō)水是生命中不可或缺的物質(zhì)，增強油漆附著(zhù)力彮劑那么太陽(yáng)同樣是我們生命中不可或缺的物質(zhì)。當我們仰望夜空中的星星時(shí)，你會(huì )看到數十億或數萬(wàn)億英里外的恒星發(fā)出的可見(jiàn)輻射。同樣地，當你在地球上享受太陽(yáng)的光芒照在臉上時(shí)，你也會(huì )被同樣的輻射加熱，這種輻射是從我們太陽(yáng)系的恒星中釋放出來(lái)的能量。大多數人不知道的是，這種能量是太陽(yáng)核心發(fā)生核聚變的結果。核聚變導致大量的氫被用作能源。

在這個(gè)裝置中，增強油漆附著(zhù)力的界面劑兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內以形成一個(gè)電場(chǎng)，一個(gè)真空泵提供真空。隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子結構與分子結構或離子自由運動(dòng)的距離越來(lái)越大。它們在電場(chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高，能量轉換足以破壞幾乎所有的離子鍵，并且在暴露的表面上會(huì )發(fā)生化學(xué)反應。在真空下，等離子體對工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理，以去除分子結構水平（通常為 3 至 30 納米厚）。

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