由于等離子體的方向性差，載玻片等離子表面清洗它可以深入物體的毛孔和凹陷處進(jìn)行清潔，因此不需要過(guò)多考慮被清潔物體的形狀。而這些難清洗部件的清洗效果與氟利昂清洗效果相當或更好;五、采用等離子清洗，清洗效率可大大提高。整個(gè)清洗過(guò)程可以在幾分鐘內完成，因此具有收率高的特點(diǎn);六、等離子體清洗需要控制真空度Pa左右，這種清洗條件容易實(shí)現。
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整個(gè)清洗過(guò)程大致如下:將等離子體清洗后的產(chǎn)品送入真空固定，載玻片等離子表面清洗啟動(dòng)運行裝置，啟動(dòng)排氣，使真空室的真空度達到標準真空度10Pa左右。一般排氣時(shí)間在幾分鐘左右;將等離子清洗氣體引入真空室，保持室內壓力穩定。
載玻片等離子表面清洗
等離子清洗機采用高效專(zhuān)用電極，是生產(chǎn)均勻等離子的保證。等離子體清洗機特殊的電極和托盤(pán)結構，可以充分利用真空室內部的空間，使加工效率提高，同時(shí)也保證了樣品能得到最有效的清洗。等離子處理器專(zhuān)用過(guò)載、短路和過(guò)熱保護電路，可確保射頻電源的穩定和安全。等離子清洗機整體模塊化設計，安裝維護非常簡(jiǎn)單。對于形狀復雜的樣品，等離子體清洗機可以找到合適的溶液。等離子清洗機還可以實(shí)現對固體樣品內部位置進(jìn)行清洗。。
與其他廢氣處理方法相比，等離子體技術(shù)具有能耗低、使用方便、無(wú)二次污染等特點(diǎn)，是目前廢氣污染管理中一種有前途、富有成效的技術(shù)方法。傳統的針對VOC和異味氣體(如吸收法、熱氧化法、膜分離法、生物反應法等)和光化學(xué)催化法由于氣體濃度低，供動(dòng)力不高，使用不同的設備處理廢氣，通過(guò)比較冷等離子體攻擊不同放電方式對等離子體功率的消除，發(fā)現介質(zhì)阻擋放電等離子體的去除率相對較高，這已成為近年來(lái)的研究熱點(diǎn)。
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載玻片等離子表面清洗器
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