控制部分的主要電器部件有:真空泵、RF電源、真空計、計時(shí)器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈的蜂鳴器、功率調節器、放空按鈕(帶自鎖)、氣體一按鈕(帶自鎖)、氣體二按鈕(帶自鎖)、高頻電源按鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開(kāi)關(guān)。鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開(kāi)關(guān)。

油漆附著(zhù)力檢驗儀器

等離子清洗機常用的主機電源是13.56KHz頻率的主機電源,真空電鍍油漆附著(zhù)力標準可以產(chǎn)生高等離子密度、軟能量、低溫,通常1-2千瓦,大功率5千瓦,小功率百瓦,多功率40千瓦,小功率百千瓦,多功率40KHz,中頻功率40KHz,中頻等離子清洗機主機功率,大功率5千瓦,小功率5千瓦,百千瓦,多功率功率40KHz,中頻功率40KHz,能量柔和,溫度低,正常功率1-2kW,高功率5kW,低功率數百kW,低功率數百KHz,多為40KHz,對真空等離子清洗機進(jìn)行放電的射頻清洗機的中頻功率與正常室溫相近。

樣品放入反應室,油漆附著(zhù)力檢驗儀器真空泵開(kāi)始抽到一定真空度,啟動(dòng)電源就產(chǎn)生等離子體。氣體通過(guò)反應室中的等離子體進(jìn)入反應室,與樣品表面反應,產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物,由真空泵抽出。真空等離子體清潔器等離子體是電中性的:一般等離子體是電中性的,但當受到擾動(dòng)時(shí),等離子體內部會(huì )發(fā)生局部電荷分離,產(chǎn)生電場(chǎng)。

不同類(lèi)型的等離子清洗機使用的工藝氣體不同,油漆附著(zhù)力檢驗儀器氣體流量控制器的選擇也會(huì )有所不同。我們總結了一些選擇氣體流量控制器的小竅門(mén),現與大家分享。1常壓等離子體清洗機流量控制器的選擇根據不同的放電形式,常壓等離子體清洗機放電所需的氣體條件也有特殊。普通射流式和射頻式常壓等離子體清洗機應引入滿(mǎn)足一定壓力和流量要求的壓縮空氣(CDA),以產(chǎn)生穩定的等離子體,保證設備正常運行。

油漆附著(zhù)力檢驗儀器

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在等離子機技術(shù)中,氣體發(fā)射的分解在高能電子中起著(zhù)決定性的作用。數以萬(wàn)計的高能電子與氣體分子(原子)發(fā)生非彈性碰撞,將能量轉化為分子(原子)幾乎內能,產(chǎn)生激發(fā)、電離、電離等進(jìn)一步聯(lián)系,氣體就會(huì )活躍起來(lái).在低勢能(<10ev)下,電子產(chǎn)生反應性自由基,在體內(形成)后,發(fā)射的分子通過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)去除。勢能大于釋放分子化學(xué)鍵的鍵能,使分子鍵斷裂,釋放斷裂。

所以在微電子、半導體及線(xiàn)路板制作職業(yè)使用較廣。 因氫氣為危險性氣體,未被電離時(shí)與氧氣匯合會(huì )發(fā)生自爆,所以在等離子清洗機中一般是制止兩種氣體混合使用的。真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈赤色,與氬等離子相似,要相同的放電環(huán)境下比氬等離子色彩略深。

然后,打開(kāi)產(chǎn)品并一起使用,觀(guān)察腐蝕情況(工作場(chǎng)所溫度控制范圍:22°C +/- 6°C,濕度控制范圍55% +/- 15%)。產(chǎn)品 A 是等離子清潔的,但產(chǎn)品 B 不是等離子清潔的。連續通電實(shí)驗(200小時(shí))后的情況如下。產(chǎn)品 A 在 71.5H 上電時(shí)出現第一條缺線(xiàn),在 77H 上電時(shí)出現第二條缺線(xiàn)。 B為4.5H,通電。這表明缺少四行。

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油漆附著(zhù)力檢驗儀器

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