等離子體表面處理機 由于等離子體的作用，聚酯的附著(zhù)力差特定分子、氧自由基和不飽和鍵出現在耐火塑料表層，這些特定官能團與等離子體中的特定粒子接觸，產(chǎn)生新的特定官能團. 將轉換為。 等離子表面處理不僅提高了結質(zhì)量，而且為使用低成本材料提供了新的可能性。等離子處理后，材料表面獲得新的性能，使普通材料獲得特殊材料。表面處理性能。真空等離子表面處理機的結構主要分為控制單元、真空室、真空泵三部分，下面對三部分進(jìn)行說(shuō)明。

1.使用等離子態(tài)粒子的高能粒子及其性質(zhì)它非?；钴S，聚酯的附著(zhù)力差可以完成清潔和活化材料表面的雙重功能。 2.等離子清洗是通過(guò)等離子狀態(tài)的反應性組分與材料表面上的有機污染物反應產(chǎn)生氣態(tài)低分子量材料，并隨系統排出。 3.等離子活化是用等離子態(tài)的高能粒子對材料表面進(jìn)行攻擊，從而使材料的CH鍵等鍵斷裂，使原有的飽和結構變?yōu)椴伙柡?、不飽和和等離子體態(tài)。

1、表面刻蝕在等離子體的作用下，聚酯的附著(zhù)力差材料表面的一些化學(xué)鍵斷裂，形成小分子產(chǎn)物或被氧化成CO、CO2等。這些產(chǎn)品被氣體抽提過(guò)程除去，使材料表面變得不均勻，粗糙度增加。表面活化在低溫等離子體處理作用下，耐火塑料表面出現一些活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團會(huì )與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應，形成新的活性基團。

洗滌; 3、真空等離子清洗機清洗是一種環(huán)保的綠色清洗方式，聚酯的附著(zhù)力差避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，清洗后不會(huì )產(chǎn)生有害污染物。隨著(zhù)世界對環(huán)境保護的高度關(guān)注，這一點(diǎn)變得更加重要。 4. 無(wú)線(xiàn)電范圍內的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子的方向不強，深入細孔和凹入物體內部完成清洗操作，因此無(wú)需考慮被清洗物體的形狀。此外，這些難清洗部位的清洗效果等同于或優(yōu)于氟利昂清洗。

聚酯的附著(zhù)力差

等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果像是甚至更好；五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；六、等離子清洗需要控制的真空度約為 Pa，這種清洗條件很容易達到。

（2）由于等離子體的衍射現象不強，更便于清洗凹凸不平、空洞、褶皺等復雜結構的物體，適用性強； （3）等離子表面處理設備可處理多種基材，降低對清潔物品的要求，特別適用于清洗不耐熱、無(wú)溶劑的基材； (4) 清洗待清洗物體經(jīng)過(guò)等離子清洗后可進(jìn)行干燥，無(wú)需進(jìn)一步干燥即可進(jìn)行下道工序，因此提高了整條工藝線(xiàn)的處理效率，無(wú)廢液產(chǎn)生，工作氣體為由于無(wú)害，用戶(hù)應遠離有害溶劑。

真空等離子體清洗機的工作原理真空等離子體清洗機采用低壓氣體輝光等離子體。通過(guò)高頻低壓激發(fā)一些非聚合無(wú)機氣體(Ar2、N2、H2、O2等）產(chǎn)生離子，利用等離子體“活性”組分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，從而達到清洗和包覆的目的。

晶圓清洗是半導體制造過(guò)程中重要且頻繁的步驟，其工藝質(zhì)量直接影響器件良率、性能和可靠性，因此國內外各大公司和研究機構都在不斷研究。清洗過(guò)程。等離子清洗作為一種先進(jìn)的干洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保的特點(diǎn)。隨著(zhù)微電子行業(yè)的快速發(fā)展，等離子清洗機越來(lái)越多地應用于半導體行業(yè)。等離子清洗具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、無(wú)廢物處理、無(wú)環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。等離子清洗通常用于光刻膠去除工藝。將少量氧氣引入等離子體反應系統。

不飽和聚酯的附著(zhù)力強不強

由于采用電能催化劑，聚酯的附著(zhù)力差提供低溫環(huán)境，同時(shí)安全（safe）和高可靠性，可以杜絕濕法化學(xué)清洗產(chǎn)生的危險和廢液，是環(huán)保的。友好。簡(jiǎn)而言之，等離子清洗技術(shù)結合了等離子物理、等離子化學(xué)和氣固兩相界面反應，有效去除（去除）殘留在材料表面的有機污染物，具有性質(zhì)不受影響，現在被認為是首要的替代傳統的濕法清潔。

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