超聲波清洗主要根據空化效應達到清洗目的,壓鑄鋁噴涂附著(zhù)力屬于濕法處理,清洗時(shí)間長(cháng),且依賴(lài)清洗液的去污性能,增加了廢液處理問(wèn)題。等離子體清洗技術(shù)是現階段廣泛應用的技術(shù)。等離子體清洗技術(shù)簡(jiǎn)單環(huán)保,清洗效果明顯,對盲孔結構非常有效。等離子體清洗機設備清洗是高度活化的等離子體在電場(chǎng)作用下定向運動(dòng),與孔壁鉆孔污物發(fā)生氣固化學(xué)反應。同時(shí),產(chǎn)生的氣體產(chǎn)物和一些未反應的顆粒由吸入泵排出。等離子體在清洗HDI板盲孔時(shí)一般分為三步。

壓鑄鋁噴涂附著(zhù)力

大家都知道,壓鑄鋁噴涂附著(zhù)力不好太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈對清潔生產(chǎn)工藝非常嚴格。即使太陽(yáng)能極的硅片不需要電子級,69的純度也很高。等離子清洗機工藝誕生后,等離子體清洗工藝已成為硅片上或多或少污染物清洗過(guò)程中常用的方法之一。等離子清洗機是一個(gè)結合等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應的新興領(lǐng)域。

二、等離子體發(fā)生器激勵頻率分類(lèi)(1)超聲等離子體:激發(fā)頻率40kHz,壓鑄鋁噴涂附著(zhù)力不好在處理表面引起物理反應;②射頻等離子體:激發(fā)頻率13.56MHz,在處理表面引起物理反應和化學(xué)反應;③微波等離子體:激發(fā)頻率2.45GHz,用于表面處理,產(chǎn)生化學(xué)反應。。

2. 接下來(lái),壓鑄鋁噴涂附著(zhù)力將等離子清洗氣體引入真空室以穩定室內壓力。根據清洗劑的不同,可以使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣和四氟化碳等氣體。 3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體分解并輝光放電,產(chǎn)生等離子體并電離。產(chǎn)生等離子,覆蓋在真空室內產(chǎn)生的等離子處理的工件,開(kāi)始清洗。清潔過(guò)程通常需要幾十秒到幾十分鐘,具體取決于正在處理的材料。 4、清洗后,關(guān)閉電源,用真空泵排出氣體和汽化的污垢,完成清洗。

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研究發(fā)現,當等離子體刻蝕溫度低于-℃時(shí),該材料刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的低K損傷會(huì )急劇減小,其介電常數不會(huì )明顯增加,從而材料特性不會(huì )發(fā)生明顯變化。同時(shí)比較了不同偏壓下刻蝕工藝對介質(zhì)材料的損傷。利用等離子體表面處理器進(jìn)行低偏壓或零偏壓超低溫刻蝕,可以明顯降低低介電常數材料的PID,同時(shí)材料的介電性能與刻蝕前相比無(wú)明顯變化。

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