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需要根據污染物的化學(xué)組成選擇反應氣體?;诨瘜W(xué)反應的等離子體清洗,清洗速度快,選擇性好,對有機污染物有很好的清洗效果。表面反應主要是物理效應,等離子體清洗更常用的是氬氣,無(wú)氧化副產(chǎn)物,蝕刻各向異性。一般情況下,等離子體表面改性過(guò)程中化學(xué)反應和物理效應并存,進(jìn)而獲得較好的選擇性、均勻性和方向性。
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