活性氣體與非活性氣體等離子體根據產(chǎn)生等離子體所用氣體的化學(xué)性質(zhì),怎么讓漆面附著(zhù)力更強可分為非活性氣體等離子體和活性氣體等離子體兩種。非活性氣體如氬(Ar)、氮氣(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、活性氣體與氧氣(O2)、氫氣(H2)等,不同類(lèi)型氣體在清洗過(guò)程中的反應機理不同,活性氣體等離子體具有更強的化學(xué)反應活性。
活潑氣體和不活潑氣體等離子體根據產(chǎn)生等離子體時(shí)使用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同,怎么讓漆的附著(zhù)力強可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類(lèi),不活潑氣體如氬氣(Ar),氮氣(N2),氟化氮(NF3)四氟化碳(CF4)等,活潑氣體和氧氣(O2),氫氣(H2)等,不同類(lèi)型的氣體在清洗過(guò)程中的反應機理是不同的,活潑氣體的等離子體具有更強的化學(xué)反應活性。
圖5 VDC2.1.2等離子體參數組成2.1.2.1氣體和流量電負性氣體是主要元素,怎么讓漆的附著(zhù)力強在保持其他工藝參數不變的情況下,氣體的電負性由VDC來(lái)確定。負電負性氣體如O2、N2具有較高的負壓偏置VDC,而含有F、Cl、Br的氣體具有較高的負電性,這是因為VII族元素容易吸附自由電子。因子中含F、Cl、Br氣體的電子密度會(huì )大大降低。含有F的氣體比含有Cl的氣體電負性更強。SF6是一種典型的電負性氣體。
方程(3-27)(斷開(kāi) CH 鍵)很容易進(jìn)行。
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3 Plasma 必須滿(mǎn)足約束條件等離子體清潔器中等離子體的存在具有空間和時(shí)間限制。如果電離氣體的空間尺度不滿(mǎn)足等離子體存在的空間極限,或者如果電離氣體存在的時(shí)間短于等離子體時(shí)間尺度的下限,則這種電離氣體是等離子體。通俗地說(shuō),等離子體是一種電離氣體,但電離氣體不一定是等離子體??萍?,精準到每一個(gè)小顆粒!用于等離子清洗機的電離氣體包括等離子氣體和普通電離氣體。。
快速運動(dòng)過(guò)渡態(tài)的電子、中性原子、分子、激發(fā)過(guò)渡態(tài)的原子團(自由基)、電離的原子、分子、分子紫外光、解離反應中產(chǎn)生的未反應分子、原子等。物質(zhì)保持電中性作為一個(gè)整體。等離子體清潔機制主要依靠等離子體中活性粒子的“活化”來(lái)達到去除物體表面污垢的目的。從反應機理來(lái)看,等離子清洗通常涉及以下幾個(gè)過(guò)程。
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2、高空閃電的形成:空氣中的這些帶電的等離子體(由于太陽(yáng)光線(xiàn)的照射剝奪空氣分子的電子形成的等離子體、水蒸氣形成單的離子體等)與電離層等離子體放電形成的雷電現象。
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