利用真空等離子表面處理系統可在FPC板生產(chǎn)制造過(guò)程中清除多層軟板孔壁的殘膠；等離子表面處理強化材料，激光表面改性處理如鋼片、鋁片、FR-4等；分解由于激光切割而產(chǎn)生的金手指碳化物；去除由于制作精細線(xiàn)條而產(chǎn)生的干膜殘膠。1、多層軟板孔壁殘膠的清除：采用真空等離子表面處理系統進(jìn)行清洗處理，可徹底清除孔洞內的污垢，增加孔壁與鍍銅層的結合力，提高孔鍍即PTH的可靠度和良率，并防止內層開(kāi)路和導通不良。

柔性印制板上的通孔可以像剛性印制板一樣進(jìn)行數字鉆孔，激光表面改性處理但不適用于在膠帶和膠帶中的雙面金屬化孔電路中鉆孔。由于電路圖案的高密度、金屬化孔的小直徑以及數控鉆孔的直徑有限，許多新的鉆孔技術(shù)已經(jīng)投入實(shí)際應用。這些新的鉆孔技術(shù)包括等離子蝕刻、激光鉆孔、微孔沖壓和化學(xué)蝕刻。這些鉆孔技術(shù)比數控鉆孔更容易滿(mǎn)足卷帶加工的鉆孔要求。 1.數控鉆頭在雙面柔性印刷電路板上鉆孔幾乎總是使用 CNC 鉆孔機完成。

激光后可以對孔壁和底部進(jìn)行清潔、粗糙和再生。鉆孔。大大提高了激光鉆孔后PTH工藝的良率和可靠性，激光表面改性處理克服了鍍銅層和孔底銅材存在裂紋。。低溫等離子清洗機也是一種干洗方式。與傳統的濕式清洗機相比，等離子清洗機具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、可控性高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。它清潔外部一次，無(wú)殘留。相反，如果不進(jìn)行一次濕法清潔，則會(huì )留下殘留物。大量使用溶劑對環(huán)境和人體有害。等離子清洗機采用化學(xué)反應和物理反應兩種清洗過(guò)程。

本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)的主要特點(diǎn)是:蝕刻均勻，激光表面改性處理激光重熔不改變基體的性質(zhì)，能有效地粗化材料的表層，控制腐蝕。。真空等離子體清洗設備可以清洗半導體元器件、光學(xué)元器件、電子元器件、半導體元器件、激光器件、鍍膜基板、終端器件等。同時(shí)也可以清洗光學(xué)鏡片，清洗各種鏡片和載片，如光學(xué)鏡片、電子顯微鏡載片、真空等離子清洗機具有性能穩定、性?xún)r(jià)比高、操作簡(jiǎn)單、成本低、維護方便等特點(diǎn)。

激光表面改性處理

清洗是許多工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的局部工序、過(guò)程或輔助活動(dòng)。對于某些傳統行業(yè)來(lái)說(shuō)，清洗已被視為一種簡(jiǎn)單的過(guò)程或常識，但通常并不被重視。但是清洗的好壞直接影響到產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。尤其在當今的高科技行業(yè)，等離子清洗機的清洗技術(shù)作用更為突出。近幾年來(lái)，新型等離子真空清洗、等離子清洗、紫外/臭氫清洗、激光清洗等新型清洗技術(shù)和設備不斷地被開(kāi)發(fā)應用。如干冰氮氣清洗等，顯示了良好的效果和應用前景。

由于它是一種干燥工藝，省去了濕法化學(xué)處理工藝中不可缺少的干燥和廢水處理工藝，具有節能、環(huán)保、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)。其次，等離子清洗機的厚度是納米級的，不會(huì )損害材料的性能。與光、激光、電子束、電暈等其他干法工藝相比，等離子的獨特之處在于，等離子表面處理效果的深度只與基片表面相當薄的一層有關(guān)。

金屬表面常常會(huì )有油脂、油污等有(機)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，如果要求比較高，如果想要得到更好的(效)果，就有必要用等離子處理來(lái)得到潔凈和無(wú)氧化層的表面。

5汽車(chē)傳感器傳感器在汽車(chē)領(lǐng)域的應用越來(lái)越廣泛，對其性能要求也越來(lái)越高，如殼體與內部電子元件之間的粘結的可靠性和密封性非常重要。低溫等離子體表面處理不僅可以完全去除有機物的殼使PPS,連結控制協(xié)定和其他材料,而且提高相關(guān)材料的表面能,提高環(huán)氧樹(shù)脂的粘接強度,避免泡沫,確保傳感器的可靠性和使用壽命。發(fā)動(dòng)機曲軸油封作為防止發(fā)動(dòng)機漏油的關(guān)鍵部件，其重要性越來(lái)越受到各發(fā)動(dòng)機廠(chǎng)家的重視。

激光表面改性處理

　　目前各種薄膜的生產(chǎn)已經(jīng)普遍采用電暈處理的方法來(lái)解決表面親和性的問(wèn)題?！　∮捎陔姇炛荒茉趦蓚€(gè)相鄰的平行電極間進(jìn)行，激光表面改性處理激光重熔且距離不能過(guò)大，所以電暈處理的方法不適合用來(lái)處理三維物體的表面極化問(wèn)題。如果用火焰法來(lái)處理，其弱點(diǎn)是所有聚合物都是易燃和熔點(diǎn)低。當有機材料置于高溫火焰下時(shí)，會(huì )因受高溫的處理而變形、變色、表面粗糙、燃燒和散發(fā)出有毒氣體。且處理工藝難以掌握?！　∪S物體表面的改性處理采用等離子處理工藝為最佳方案。

激光重熔可以增加涂層的硬度，激光表面改性處理激光重熔顯著(zhù)提高耐磨性和致密性，而真空等離子噴涂和激光等離子混合噴涂等噴涂方法可以顯著(zhù)提高涂層的粘合強度。隨著(zhù)等離子噴涂技術(shù)、設備和工藝的不斷改進(jìn)和完善，該技術(shù)與其他表面技術(shù)相結合，進(jìn)一步提高噴涂效率，降低成本，具有更廣泛的潛在應用。。等離子表面處理機清洗設備：隨著(zhù)電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，通訊、電子計算機、電子設備、半導體材料、液晶顯示器、光電產(chǎn)品等工業(yè)清洗設備的比重越來(lái)越大。