自動(dòng)清理臺是一種多層同時(shí)清理，4509附著(zhù)力助劑設備成熟、生產(chǎn)能力高，而單晶清洗設備是逐片清理，具有清理精度高、反面、斜面可有效地清理反面、斜面和邊緣，防止晶圓片間的交叉污染。在45nm之前，自動(dòng)清理臺可以滿(mǎn)足清理要求，目前仍有應用；在45以下的工藝節點(diǎn)，依靠單晶圓清洗設備來(lái)滿(mǎn)足清理精度的要求。隨著(zhù)未來(lái)工藝節點(diǎn)的減少，單晶圓等離子發(fā)生器是目前可預測技術(shù)下清洗設備的主流。

等離子清洗機無(wú)需箱體，4509附著(zhù)力可直接安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上進(jìn)行在線(xiàn)加工，與磨邊機反向運行相比，大大提高了運行功率。等離子清洗機電源：主電源頻率有40KHZ、13.56MHZ、2.45GHZ三種，其中13.56MHZ需要電源匹配器。 2.45GHZ也稱(chēng)為微波等離子體。系統控制單元：可分為按鈕控制（半自動(dòng)、全自動(dòng)）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）三種。

FPC柔性板結構信息模塊是一種基于柔性印制電路板的網(wǎng)絡(luò )傳輸信息模塊。網(wǎng)絡(luò )信息模塊安裝在局域網(wǎng)內，4509附著(zhù)力用于傳輸網(wǎng)絡(luò )數字信號的一個(gè)連接器，前端采用RJ45形式的插座，后端采用IDC卡的METHOD數據線(xiàn)，進(jìn)行傳輸信號并補償衰減效果。常用的網(wǎng)絡(luò )信息模塊是硬線(xiàn)路板+鍍金銅針，兩者均采用行IDC的方法。FPC柔性模塊是一種基于柔性電路板的網(wǎng)絡(luò )信息模塊。軟電路板用于更換硬電路板。采用與軟板合一的金手指代替鍍金銅針。

因此，4509附著(zhù)力助劑采用等離子清洗技術(shù)可以克服傳統方法中的缺陷，使清洗更符合環(huán)保原則。等離子清洗設備類(lèi)型：等離子清洗設備，一般分為真空等離子清洗機和常壓等離子清洗機，常用的等離子清洗設備激發(fā)頻率有三種：①超聲等離子體為40kHz，②射頻等離子體為13.56MHz，③微波等離子體為2.45GHz。等離子清洗技術(shù)主要應用于：（1）等離子刻蝕在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì )變成氣相。

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表8.2不同流量配比的Cl2/CH4/N2/Ar蝕刻結果RunNo.Cl2/sccmN:/sccmAr/sccmEtchRate/(μm/min)SelectivityInP:SiO2RMS/nm150101.11328.7:1>2525370.49311.5;118.2235550.40713.0:115.8845730.3229.35:11.0758350.76817.0:1>2568530.67317.2:16.30 以上幾類(lèi)方法都是在ICP機臺中實(shí)現的，而早期在RIE的機臺中也有過(guò)相關(guān)研究，去探 尋壓力對蝕刻磷化銦的影響。

二、等離子體發(fā)生器激勵頻度分類(lèi)①超聲等離子體：激發(fā)頻率40kHz，引起處理面的物理反應；②射頻等離子體：激發(fā)頻率13.56MHz，引起處理表面發(fā)生物理反應和化學(xué)反應；③微波等離子體：激發(fā)頻率2.45GHz，用于處理表面產(chǎn)生化學(xué)反應。。

用接觸角儀測量玻璃面板沾有潤滑油和硬脂酸的接觸角。等離子體射流清洗一段時(shí)間后，水的接觸角明顯降低(低)。SEM觀(guān)察也證實(shí)了清洗效果。-低溫等離子發(fā)生器可構成自由基清除（去除）產(chǎn)品表面的有機污染物，以提高（提高）產(chǎn)品表面的附著(zhù)力、可靠性和持久性。它還可以清潔產(chǎn)品表面，提高(提高)表面親和力(降低水滴角)，增加涂層體的附著(zhù)力等效(效果)。

經(jīng)等離子設備處理后，表面得到有效活化和清潔，提高表面附著(zhù)力，有利于涂層或印刷，使表面附著(zhù)力可靠耐用。。隨著(zhù)時(shí)代的進(jìn)步，當今社會(huì )，對軍用航空航天通信和消費類(lèi)電器的功能性和可靠性要求越來(lái)越嚴格，對高性能PCB電路板的要求也越來(lái)越突出。因此，它又密又細。電路設計和新材料的應用使PCB制造過(guò)程更加復雜和困難。等離子表面處理設備和技術(shù)應用逐漸為PCB從業(yè)者所熟悉，并因其明顯的優(yōu)勢逐漸取代化學(xué)或機械處理方法。

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因為指紋、通量、有機化合物、金屬化合物、有機化合物、金屬鹽等在生產(chǎn)微電子封裝中。這些污漬對包裝生產(chǎn)過(guò)程和質(zhì)量有很大的影響。采用分子生產(chǎn)工藝，4509附著(zhù)力助劑等離子體設備可輕松清洗，保證原子之間緊密接觸的部件表層的附著(zhù)力，從而有效提高熔合強度，提高晶圓引線(xiàn)連接質(zhì)量，降低(或降低)泄漏率，提高零部件的包裝性能、良率和可靠性。

它發(fā)生化學(xué)反應。清洗后，4509附著(zhù)力助劑油脂、助劑等表面碳氫化合物污染物可能會(huì )腐蝕變粗糙，形成致密的交聯(lián)層，或添加含氧的極性基團（羥基、羧基）...涂層材料的附著(zhù)力以?xún)?yōu)化涂層應用。等離子處理的表面處理機可用于獲得相對較薄的高壓涂層，這些涂層可用于涂層粘合、涂層和印刷。